[发明专利]一种指纹识别装置及其制造方法有效
| 申请号： | 202010184645.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111354685B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 孙德瑞;侯新祥 | 申请（专利权）人： | 深圳汉德霍尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29;H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56;G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 指纹识别 装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种指纹识别装置，其包括：
衬底，其包括相对的第一表面和第二表面；所述第一表面上包括至少一指纹识别区域以及围绕在所述指纹识别区域的多个焊盘；
弹性材料层，设置于所述第二表面上且与所述衬底直接接触；
多个通孔，所述多个通孔贯穿所述弹性材料层延伸至所述衬底中，且所述多个通孔的底部分别露出所述多个焊盘；
绝缘层，覆盖所述多个通孔的侧壁以及所述弹性材料层的下表面；
布线层，设置于所述绝缘层上，且电连接所述多个焊盘，所述布线层从所述多个通孔的侧壁延伸至所述弹性材料层的下表面；
树脂材料，填充所述多个通孔，且密封所述布线层。
2.根据权利要求1所述的指纹识别装置，其特征在于：所述第二表面包括一凹陷，所述弹性材料层填充所述凹陷。
3.根据权利要求1所述的指纹识别装置，其特征在于：所述弹性材料层中至少包括一空气气隙，所述空气气隙位于所述指纹识别区域的正下方。
4.根据权利要求1-3任一项所述的指纹识别装置，其特征在于：所述弹性材料层与所述衬底在所述多个通孔的侧壁具有一界面，所述布线层包括两个窄部和连接所述两个窄部的一宽部，所述宽部横跨所述界面。
5.根据权利要求2所述的指纹识别装置，其特征在于：所述弹性材料层的下表面与所述凹陷的下表面齐平。
6.一种指纹识别装置的制造方法，其包括：
(1)提供具有多个指纹识别区和多个焊盘的衬底，所述衬底包括相对的第一表面和第二表面；
(2)在所述第二表面上压合弹性材料层，所述弹性材料层与所述衬底直接接触；
(3)形成多个通孔，所述多个通孔贯穿所述弹性材料层延伸至所述衬底中，且所述多个通孔的底部分别露出所述多个焊盘；
(4)形成绝缘层，所述绝缘层覆盖所述多个通孔的侧壁以及所述弹性材料层的下表面；
(5)在所述绝缘层上形成布线层，所述布线层电连接所述多个焊盘，且所述布线层从所述多个通孔的侧壁延伸至所述弹性材料层的下表面；
(6)形成树脂材料，所述树脂材料填充所述多个通孔，且密封所述布线层。
7.根据权利要求6所述的指纹识别装置的制造方法，其特征在于：在步骤(1)中还包括在第二表面形成一凹陷。
8.根据权利要求7所述的指纹识别装置的制造方法，其特征在于：在步骤(2)中，所述弹性材料层填充所述凹陷。
9.根据权利要求8所述的指纹识别装置的制造方法，其特征在于：所述弹性材料层与所述衬底在所述多个通孔的侧壁具有一界面，所述布线层包括两个窄部和连接所述两个窄部的一宽部，所述宽部横跨所述界面。
10.根据权利要求6所述的指纹识别装置的制造方法，其特征在于：所述弹性材料层中至少包括一空气气隙，所述空气气隙位于所述指纹识别区的正下方。
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