[发明专利]高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010181260.9 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN113403588B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 江晓红;方嘉林 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 刘海霞 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高硬高 耐磨 掺银类 金刚石 红外 增透膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜材料的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
步骤1，将银棒插入石墨靶材横截面中，分布在与石墨横截面同心的等边六边形顶点和形心处，制成掺银的石墨靶材，所述的银棒纯度为99.99%，所述的等边六边形的边长为0.8cm，所述的七根银棒裸露的截面积总和与石墨裸露的截面积的比例为0.0753：1；
步骤2，将溴化钾片放入真空阴极弧等离子蒸发腔中，抽真空，采用真空阴极弧等离子蒸发法，将膜镀在溴化钾片上，得到高硬高耐磨掺银类金刚石红外增透膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2中，真空度为 10-3Pa ，电流为3000A 。
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