[发明专利]一种利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台在审
| 申请号： | 202010177742.7 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111508889A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 沈云清;王冲 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 钱照建 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 离心力 夹持 晶圆承片台 | ||
1.一种利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台包括：底座(1)、支柱(2)、承片台底座(3)、若干晶圆支撑柱(4)、若干夹持块(5)、若干配重块(6)、若干支撑帽(7)和驱动电机(8)；
所述承片台底座(3)通过所述支柱(2)与所述底座(1)固定；
若干所述晶圆支撑柱(4)安装于所述承片台底座(3)上，并且所述晶圆支撑柱(4)在所述承片台底座(3)上围成一晶片安装圆环；所述晶片安装圆环内用于放置晶片；
单个所述晶圆支撑柱(4)上均固定一个所述支撑帽(7)和活动安装有一个所述夹持块(5)；
单个所述夹持块(5)上均固定有一个配重块(6)；
所述底座(1)安装于所述驱动电机(8)，所述驱动电机(8)用于驱动所述底座(1)旋转；
当所述驱动电机(8)驱动所述底座(1)旋转时，所述承片台底座(3)同步转动，使所述配重块(6)形成离心力，从而向内推动所述夹持块(5)，使所述夹持块(5)夹紧所述晶圆。
2.如权利要求1所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述底座(1)和所述承片台底座(3)同轴设置。
3.如权利要求2所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述承片台底座(3)的圆心与所述晶片安装圆环的圆心之间具有0.2mm的偏心距离。
4.如权利要求1所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述配重块(6)上设有螺纹孔(61)，所述螺纹孔(61)用于调节配重。
5.如权利要求4所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述夹持块(5)通过销轴(51)与所述晶圆支撑柱(4)活动连接。
6.如权利要求1所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述销轴(51)上卡设有卡簧(52)。
7.如权利要求6所述的利用离心力夹持晶圆的晶圆承片台，其特征在于，所述晶圆支撑柱(4)的设有6个。
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