[发明专利]一种基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置

权利要求书

1.一种基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述装置包括中位气管（13），所述中位气管（13）水平设置于工作台面（15）上方，所述中位气管（13）上开有中位通气管小孔，所述中位气管（13）两侧安装可调节侧位气管结构，所述可调节侧位气管结构和所述中位气管（13）均各自连接真空发生器模块（12），所述中位气管（13）一侧设置高速摄像头（11）；所述可调节侧位气管结构包括X轴移动导轨（4），所述X轴移动导轨（4）水平安装在所述工作台面（15）上，所述X轴移动导轨（4）上滑动安装X轴移动块（9），所述X轴移动块（9）连接X向移动机构，所述X轴移动块（9）侧面上竖直安装Y轴移动导轨（5），所述Y轴移动导轨（5）上滑动安装Y轴移动块（8），所述Y轴移动块（8）连接Y向移动机构，所述Y轴移动块（8）上安装Z轴电机（3），所述Z轴电机（3）输出轴安装侧位气管（10），所述侧位气管（10）上开有侧位通气管小孔。

2.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述X轴移动导轨（4）的安装方向与所述中位气管（13）的设置方向垂直。

3.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述X向移动机构包括X轴移动丝杆（7），所述所述X轴移动块（9）中螺纹连接所述X轴移动丝杆（7），所述X轴移动导轨（4）一侧设有X轴电机（1），所述X轴电机（1）输出轴连接所述X轴移动丝杆（7）端部。

4.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述Y轴移动导轨（5）的安装方向与所述X轴移动导轨（4）的设置方向垂直。

5.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述Y向移动机构包括Y轴移动丝杆（6），所述Y轴移动块（8）中螺纹连接所述Y轴移动丝杆（6），所述Y轴移动导轨（5）一侧设有Y轴电机（2），所述Y轴电机（2）输出轴连接所述Y轴移动丝杆（6）端部。

6.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述侧位气管（10）与所述中位气管（13）相平行。

7.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述中位气管（13）通过中位通气管安装架（14）水平设置于所述工作台面（15）上方。

8.如权利要求1所述的基于利用视觉摄像检测技术的薄膜形态控制装置，其特征在于：所述Z轴电机（3）为伺服电机。