[发明专利]薄膜层叠体、及图案化导电性薄膜的制造方法在审
申请号: | 202010174097.3 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111696703A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 酒井和也;竹安智宏;鹰尾宽行 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;B32B3/30;B32B15/04;B32B27/06;B32B27/32;B32B27/36;B32B33/00;B32B7/12 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 层叠 图案 导电性 制造 方法 | ||
提供能够实现薄型化、并且抑制尺寸变化的薄膜层叠体、及图案化导电性薄膜的制造方法。薄膜层叠体(1)在厚度方向具备载体薄膜(2)及导电性薄膜(3),导电性薄膜(3)在厚度方向具备透明基材(7)及透明导电层(10),载体薄膜(2)具备保护基材(4),透明基材(7)的厚度不足50μm,保护基材(4)的热收缩率为0.20%以下,保护基材(4)与导电性薄膜(3)的线性热膨胀系数差为40ppm/℃以下,对薄膜层叠体(1)进行加热剥离时的导电性薄膜(3)的热收缩率为0.20%以下。
技术领域
本发明涉及薄膜层叠体、及使用其的图案化导电性薄膜的制造方法。
背景技术
一直以来,已知图像显示装置具备在透明基材上配置由铟锡复合氧化物(ITO)、金属纳米线形成的导电层而得的导电性薄膜作为触摸面板用薄膜(例如,参照专利文献1)。
对于这样的导电性薄膜,例如,将导电层图案化为期望的形状后,为了ITO的结晶化、金属纳米线用粘结剂树脂的固化,实施了加热处理。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2017-71850号公报
发明内容
然而,对于导电性薄膜,为了进一步的薄型化,正在研究使用薄膜基材作为透明基材。这样,从消除加热处理中输送时的导电性薄膜的强度不足的观点出发,经图案化的导电性薄膜需要在层叠有载体薄膜的状态下实施加热。
但是,由于载体薄膜与导电性薄膜的热物性的差异,导电性薄膜发生收缩,产生自图案化开始图案就发生变化的不良情况。
本发明提供能够实现薄型化、并且抑制图案的尺寸变化的薄膜层叠体、及使用其的图案化导电性薄膜的制造方法。
本发明[1]包含一种薄膜层叠体,其在厚度方向具备载体薄膜及导电性薄膜,前述导电性薄膜在厚度方向具备透明基材及导电层,前述载体薄膜具备保护基材,前述透明基材的厚度不足50μm,前述保护基材的热收缩率为0.20%以下,前述保护基材与前述导电性薄膜的线性热膨胀系数差为40ppm/℃以下,对前述薄膜层叠体进行加热剥离时的前述导电性薄膜的热收缩率为0.20%以下。
本发明[2]包含[1]所述的薄膜层叠体,其中,前述透明基材为环烯烃系薄膜或聚酯系薄膜。
本发明[3]包含[1]或[2]所述的薄膜层叠体,其中,前述薄膜层叠体在前述导电层进行了图案化后实施加热处理的工序中使用。
本发明[4]包含[3]所述的薄膜层叠体,其中,前述导电性薄膜还具备在前述导电层的厚度方向上配置的金属层。
本发明[5]包含图案化导电性薄膜的制造方法,其中,依次具备:准备[1]~[4]中任一项所述的薄膜层叠体的工序;对前述导电层进行图案化的工序;对前述薄膜层叠体进行加热的工序;及从前述薄膜层叠体将前述载体薄膜去除的工序。
根据使用了本发明的薄膜层叠体的本发明的图案化导电性薄膜的制造方法,能够制造实现薄型化、并且抑制尺寸变化的图案化导电性薄膜。
附图说明
图1中,图1的A-B示出本发明的薄膜层叠体的第1实施方式,图1的A示出截面图,图1的B示出斜视图。
图2示出保护基材、及图1的A所示的薄膜层叠体卷绕成卷状的状态的斜视图。
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