[发明专利]一种多框石墨舟

说明书

本发明公开的一种多框石墨舟，包括若干石墨舟片，这些石墨舟片通过陶瓷圈相互隔离叠加后再通过螺栓杆以及螺母连接起来，其特征在于，每片石墨舟片上用以穿过螺栓杆的孔根据位置不同设计成不同的腰形孔，来克服高温膨胀导致的石墨舟片变形后后续装配困难的问题。

技术领域

本发明涉及用于制备太阳能光伏PECVD的石墨舟技术领域，特别涉及一种多框石墨舟。

背景技术

目前光伏太阳能板的市场竞争非常激烈，如何降低生产成本、提高生产效率是各个企业都急需要考虑的问题。光伏太阳能板制造时的材料成本属于固定成本，而单位时间产出的光伏太阳能板数量是可以变动的，因此其每片光伏太阳能板的劳动力成本、能源成本和管理成本是可以变动的，因此很对企业就在提高光伏太阳能板的产能上下功夫进行研发。例如如何提高石墨舟的单次装片量上下功夫。

目前石墨舟均是采用若干石墨舟片通过陶瓷圈隔离后再采用螺栓杆连接组成。如果要提高石墨舟的单次装片量，那么就要增加石墨舟的装片框，而增加石墨舟的装片框的数量的同时要考虑到石墨舟的强度和加工性，太多石墨的强度不够同时也造成加工困难。目前市面上出现了一种装片框达到11个的石墨舟，其单次装片量可以达到704片，提高了产能，同时降低了加热炉管的能耗。但是在使用过程中发现：若单个石墨舟片损坏时需要更换新的石墨舟片时，参见图1，发现新的石墨舟片1上用以穿过螺栓杆的孔1a与老的石墨舟片上的用以穿过螺栓杆的孔对不上，造成无法更换。起先以为是每批次石墨舟片钻孔时的所存在加工误差造成的，但是采用特殊的钻孔工装进行控制后，发现这个问题依然无法得到解决，一直困扰着业界，造成石墨舟制造厂家的质量声誉下降。后经过长期研究发现，只有将石墨舟用于PECVD行业才会出现这样的情况，而不是用于PECVD行业就不会存在上述问题。继续研究后发现：PECVD在高温碳化硅气氛环境中使用，因为氮化硅逐步浸渗到石墨材料内部，长期使用后石墨材料膨胀后收缩不回来，装配孔间距发生变化，导致后续装配困难，勉强装配会使不良率升高。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对现有技术所存在的上述问题而提供一种多框石墨舟。

本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案拉起实现：

一种多框石墨舟，包括若干石墨舟片，这些石墨舟片通过陶瓷圈相互隔离叠加后再通过螺栓杆以及螺母连接起来，其特征在于，每片石墨舟片上用以穿过螺栓杆的孔根据位置不同设计成不同的腰形孔，来克服高温膨胀导致的石墨舟片变形后后续装配困难的问题。

在本发明的一个优选实施例中，在每一石墨舟片的至少一适当位置处，开设有三个呈三角形布置的腰形孔，相邻的石墨舟片在该适当位置处采用一三角形的陶瓷套圈隔开，在所述三角形的陶瓷圈上开设有三个呈三角形布置的螺栓通孔，用螺栓杆穿过每片石墨舟片该适当位置上的三个腰形孔和每一个三角形的陶瓷套圈上的三个呈三角形布置的螺栓通孔并用螺母固定，以增强整体石墨舟的刚性和缓解高温下的变形。

在本发明的一个优选实施例中，所述多框石墨舟为11框石墨舟。

由于采用了如上的技术方案，本发明与现有技术相比，具有如下特点：

(1)通过实验数据恰当的设计装配孔的形状，对不同位置的装配孔设计不同的形状(腰型)，来克服高温膨胀导致的变形后后续装配困难的问题。

(2)在现有设备的基础上，巧妙的制作专用加工工装，不增加特别多的加工投入生产具有性价比优势的产品给客户；设计专用的陶瓷配件增加刚性，优化舟片装配孔的布局和尺寸，客户以上问题。

(3)经过试制样品的效果确认，既满足了客户对产能、效率和成本的诉求又克服了加工过程及使用过程的相关问题。

附图说明

图1为现有石墨舟片的结构示意图。

图2为本发明的多框石墨舟的结构示意图。