[发明专利]一种多框石墨舟在审
| 申请号： | 202010166479.1 | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111188029A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张孟彤;张勇 | 申请（专利权）人： | 上海弘枫实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/50;H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201716 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
【权利要求书】：
1.一种多框石墨舟，包括若干石墨舟片，这些石墨舟片通过陶瓷圈相互隔离叠加后再通过螺栓杆以及螺母连接起来，其特征在于，每片石墨舟片上用以穿过螺栓杆的孔根据位置不同设计成不同的腰形孔。
2.如权利要求1所述的一种多框石墨舟，其特征在于：在每一石墨舟片的至少一适当位置处，开设有三个呈三角形布置的腰形孔，相邻的石墨舟片在该适当位置处采用一三角形的陶瓷套圈隔开，在所述三角形的陶瓷圈上开设有三个呈三角形布置的螺栓通孔，用螺栓杆穿过每片石墨舟片该适当位置上的三个腰形孔和每一个三角形的陶瓷套圈上的三个呈三角形布置的螺栓通孔并用螺母固定，以增强整体石墨舟的刚性和缓解高温下的变形。
3.如权利要求1或2所述的一种多框石墨舟，其特征在于：所述多框石墨舟为11框石墨舟。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
