[发明专利]半导体激光器有效

专利信息
申请号: 202010165677.6 申请日: 2016-09-27
公开(公告)号: CN111431030B 公开(公告)日: 2023-02-17
发明(设计)人: 斯文·格哈德;艾尔弗雷德·莱尔;克莱门斯·菲尔海利希;安德烈亚斯·莱夫勒;克里斯托夫·艾克勒 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01S5/042 分类号: H01S5/042;H01S5/028;H01S5/16;H01S5/323;H01S5/32
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 张春水;丁永凡
地址: 德国雷*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体激光器
【权利要求书】:

1.一种半导体激光器(1),所述半导体激光器具有:

-半导体层序列(2),所述半导体层序列包括n型传导的n型区域(21)、p型传导的p型区域(23)和位于其之间的用于产生激光辐射的有源区(22),

-由透明导电氧化物构成的对于所述激光辐射能穿透的p型接触层(3),所述p型接触层用于将电流直接注入到所述p型区域(23)中,和

-导电的且金属的p型接触结构(4),所述p型接触结构直接处于所述p型接触层(3)处,

其中

-所述p型接触层(3)是用于引导所述激光辐射的外罩层的一部分,使得所述激光辐射在所述半导体激光器(1)运行时常规地进入到所述p型接触层(3)中,

-所述半导体层序列(2)具有两个棱面(25),所述棱面形成用于所述激光辐射的谐振器端面,

-在直接在所述棱面(25)中的至少一个棱面处的电流保护区域(5)中,禁止到所述p型区域(23)中的电流注入,

-所述电流保护区域(5)在垂直于所属的所述棱面(25)的方向上的扩展为至少0.5μm和最高100μm,并且附加地为用于所述激光辐射的谐振器长度的最高20%,

-在所述电流保护区域(5)中,移除所述p型接触层(3),并且在所述电流保护区域(5)中,至少一个附加层(63)直接施加在所述p型区域(23)上,

-所述附加层(63)是电绝缘的,并且所述附加层(63)的厚度等于所述p型接触层(3)的厚度,

-在所述电流保护区域(5)中,所述附加层(63)部分地或完全地由所述p型接触结构(4)覆盖,

并且

-所述附加层(63)不仅在所述电流保护区域(5)中、而且也在所属的所述棱面(25)上施加。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),

其中所述p型接触层(3)和所述p型接触结构(4)在平行于所述有源区(22)的方向上与所述棱面(25)中的另一棱面平接。

3.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),

其中在所述电流保护区域(5)中,完全地移除所述p型接触层(3)和所述p型接触结构(4)。

4.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),

其中所述附加层(63)具有比所述p型区域(23)更高的比热导率。

5.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),

其中在所述电流保护区域(5)中,在平行于所述有源区(22)的方向上,所述附加层(63)与所述p型接触层(3)间隔开。

6.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),

其中所述附加层(63)对于在所述有源区(22)中产生的激光辐射构成为抗反射层或构成为高反射层。

7.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),

其中所述附加层(63)在所述棱面(25)处的厚度等于在所述p型区域(23)处、在所述p型接触层(3)的延长部中的厚度。

8.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),

其中在横截面中观察L形的附加层(63)的不同的腿部处,所述附加层(63)的厚度彼此不同。

9.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),

其中所述棱面(25)仅部分地由所述附加层(63)覆盖。

10.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),

其中所述附加层(63)具有比所述p型区域(23)和比所述p型接触层(3)更高的比热导率,

其中所述附加层(63)包括如下材料中的一种或多种:Al2O3、SiO2、TiO2、Ta2O5、HfO2、Si3N4、AlN、SiC、类金刚石的碳。

11.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),

其中所述附加层(63)具有对于所述激光辐射而言高低交替的折射率的层的序列。

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