[发明专利]半导体激光器有效
申请号: | 202010165677.6 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN111431030B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 斯文·格哈德;艾尔弗雷德·莱尔;克莱门斯·菲尔海利希;安德烈亚斯·莱夫勒;克里斯托夫·艾克勒 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/042 | 分类号: | H01S5/042;H01S5/028;H01S5/16;H01S5/323;H01S5/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;丁永凡 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体激光器 | ||
1.一种半导体激光器(1),所述半导体激光器具有:
-半导体层序列(2),所述半导体层序列包括n型传导的n型区域(21)、p型传导的p型区域(23)和位于其之间的用于产生激光辐射的有源区(22),
-由透明导电氧化物构成的对于所述激光辐射能穿透的p型接触层(3),所述p型接触层用于将电流直接注入到所述p型区域(23)中,和
-导电的且金属的p型接触结构(4),所述p型接触结构直接处于所述p型接触层(3)处,
其中
-所述p型接触层(3)是用于引导所述激光辐射的外罩层的一部分,使得所述激光辐射在所述半导体激光器(1)运行时常规地进入到所述p型接触层(3)中,
-所述半导体层序列(2)具有两个棱面(25),所述棱面形成用于所述激光辐射的谐振器端面,
-在直接在所述棱面(25)中的至少一个棱面处的电流保护区域(5)中,禁止到所述p型区域(23)中的电流注入,
-所述电流保护区域(5)在垂直于所属的所述棱面(25)的方向上的扩展为至少0.5μm和最高100μm,并且附加地为用于所述激光辐射的谐振器长度的最高20%,
-在所述电流保护区域(5)中,移除所述p型接触层(3),并且在所述电流保护区域(5)中,至少一个附加层(63)直接施加在所述p型区域(23)上,
-所述附加层(63)是电绝缘的,并且所述附加层(63)的厚度等于所述p型接触层(3)的厚度,
-在所述电流保护区域(5)中,所述附加层(63)部分地或完全地由所述p型接触结构(4)覆盖,
并且
-所述附加层(63)不仅在所述电流保护区域(5)中、而且也在所属的所述棱面(25)上施加。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中所述p型接触层(3)和所述p型接触结构(4)在平行于所述有源区(22)的方向上与所述棱面(25)中的另一棱面平接。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在所述电流保护区域(5)中,完全地移除所述p型接触层(3)和所述p型接触结构(4)。
4.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)具有比所述p型区域(23)更高的比热导率。
5.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中在所述电流保护区域(5)中,在平行于所述有源区(22)的方向上,所述附加层(63)与所述p型接触层(3)间隔开。
6.根据权利要求1所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)对于在所述有源区(22)中产生的激光辐射构成为抗反射层或构成为高反射层。
7.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)在所述棱面(25)处的厚度等于在所述p型区域(23)处、在所述p型接触层(3)的延长部中的厚度。
8.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),
其中在横截面中观察L形的附加层(63)的不同的腿部处,所述附加层(63)的厚度彼此不同。
9.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),
其中所述棱面(25)仅部分地由所述附加层(63)覆盖。
10.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)具有比所述p型区域(23)和比所述p型接触层(3)更高的比热导率,
其中所述附加层(63)包括如下材料中的一种或多种:Al2O3、SiO2、TiO2、Ta2O5、HfO2、Si3N4、AlN、SiC、类金刚石的碳。
11.根据权利要求1或6所述的半导体激光器(1),
其中所述附加层(63)具有对于所述激光辐射而言高低交替的折射率的层的序列。
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