[发明专利]一种改进型ALD镀膜机

权利要求书

1.一种改进型ALD镀膜机，包括在内部上设置有半月板（9）的内反应腔（8），其特征在于，该镀膜机还包括内反应腔盖（5），所述内反应腔盖（5）安装在所述内反应腔（8）顶部；

在所述内反应腔盖（5）上转动贯穿有电机轴（3），而电机轴（3）一端固定在步进电机（2）的输出轴上，另一端与半月板（9）连接；其中，在靠近半月板（9）一侧的内反应腔盖（5）上开设有多片呈环形阵列分布的通孔片区（51），而通孔片区（51）是由多个呈阵列分布的连接孔组成；

所述内反应腔盖（5）外接有前驱体源管道和氮气管道；

在靠近所述内反应腔盖（5）一侧的半月板（9）上放置有多个呈环形分布的晶圆（91）。

2.根据权利要求1所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，在所述内反应腔盖（5）中心位置处配合电机轴（3）开设有穿插孔。

3.根据权利要求1所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，所述通孔片区（51）在内反应腔盖（5）上开设有十二个，且呈环形阵列分布。

4.根据权利要求1所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，所述晶圆（91）在半月板（9）上放置有三个，且半月板（9）上开始有用于限位晶圆（91）的卡槽。

5.根据权利要求1所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，所述内反应腔（8）外侧安装有隔热屏（6），隔热屏（6）顶部可分离式限位在内反应腔盖（5）上，在隔热屏（6）内部设置有多个电加热丝（7）。

6.根据权利要求1或5所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，在所述内反应腔（8）底部连接有粉末收集器（11），粉末收集器（11）另一端连接在真空泵（12）上，而真空泵（12）上连接有酸性排气腔（13）。

7.根据权利要求1所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，所述半月板（9）上放置有三个呈环形分布的晶圆（91）。

8.根据权利要求1或5所述的一种改进型ALD镀膜机，其特征在于，在所述内反应腔盖（5）上固定有电缸Ⅰ（1）和电缸Ⅱ（4），而电缸Ⅰ（1）和电缸Ⅱ（4）安装在电缸支架（10）上。