[发明专利]户外照明光源光效提高方法

权利要求书

1.一种户外照明光源光效提高方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一基板；

在所述基板上形成半结晶性层；

在所述半结晶性层上形成未掺杂层；

在所述未掺杂层上形成隔离层；

在所述隔离层上形成第一类型掺杂层；

在所述第一类型掺杂层上形成有源层；

在所述有源层上形成第二类型掺杂层；

所述隔离层为氮化铝层，所述第一类型掺杂层依次包括第一类型高浓度掺杂层和第一类型低浓度掺杂层，第一类型高浓度掺杂层、第一类型低浓度掺杂层依次位于所述隔离层上，第一类型高浓度掺杂层掺杂浓度高于所述第一类型低浓度掺杂层，第一类型高浓度掺杂层含有铝元素，第一类型低浓度掺杂层不含有铝元素，第一类型高浓度掺杂层中铝含量随厚度增加逐渐降低，第一类型高浓度掺杂层中掺杂浓度随厚度增加逐渐降低；负电极位于所述第一类型高浓度掺杂层中，正电极位于所述第二类型掺杂层中。

2.如权利要求1所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，所述隔离层厚度为10～50nm。

3.如权利要求1或2所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一类型高浓度掺杂层与第一类型低浓度掺杂层厚度比为(2～5):1。

4.如权利要求3所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一类型高浓度掺杂层厚度为3～7.5um，第一类型低浓度掺杂层厚度1.5um。

5.如权利要求4所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一类型高浓度掺杂层厚度为5.25um，第一类型低浓度掺杂层厚度为1.5um。

6.如权利要求1所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，所述第一类型高浓度掺杂层中铝含量随厚度增加其摩尔比从1降低至0。

7.如权利要求1所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述第一类型高浓度掺杂层生长速率是形成所述第一类型低浓度掺杂层生长速率的0.1～0.9倍。

8.如权利要求7所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述第一类型低浓度掺杂层生长速率为2～10um/h。

9.如权利要求7或8所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述第一类型高浓度掺杂层温度高于形成所述第一类型低浓度掺杂层温度。

10.如权利要求9所述的户外照明光源光效提高方法，其特征在于，形成所述第一类型高浓度掺杂层温度高于形成所述第一类型低浓度掺杂层温度10～50℃。