[发明专利]一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备

说明书

本发明公开了一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，具体涉及智能加工领域，包括外壳，外壳的底部固定安装有底部轴杆，外壳顶部的一侧固定安装有进料管，底部轴杆的顶部固定安装有位于外壳内腔的导温容器，所述导温容器的外部套装有加热器，导温容器的内部填充有石英沙层，所述石英沙层顶面的中部放置有石英坩埚。本发明当外壳内部处于加热状态时，磁力组件对于耐高温磁性金属形成一个磁场固定耐高温磁性金属不发生晃动，从而使得石英坩锅和石英坩埚固定，保证了石英坩埚内部的多晶液稳定提纯，同时磁力组件产生的磁力处于倾斜状态可以分解出一个向下的力从而对石英坩锅进行二次固定，极大的保证了单晶硅提纯的稳定，增加了单晶硅提纯的质量。

技术领域

本发明涉及智能加工领域技术领域，更具体地说，本发明涉及一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备。

背景技术

单晶炉是光伏设备中一种用于单晶硅提纯的设备，单晶炉热场的组成部为三个部分，底部为支撑部分，中部为加热部分，顶部为保温部分，支撑部分如图9中导温容器107底部轴杆101，加热部分的作用是利用控温系统对放置在导温容器107内部的石英坩埚108进行加热，从而保证保温罩107内部放置的固体多晶硅融化成液体，再利用放置在石英坩埚107内部的籽晶杆106对熔融的液体内部的单晶硅进行提纯，保温部分是石英坩埚108顶部的保温罩107，用于保证提纯环境温度的稳定，以利于单晶的生成。

现有技术中在导温容器107的内部人工填入石英沙层16用以对石英坩埚108进行导热恒温，因为石英沙层109和石英坩埚108是人工利用测量工具进行测量完成，保证石英坩埚108位于导温容器102的轴心处，这种的放置方法存在误差，使得石英坩埚108中心与籽晶杆106的位置出现偏移，在后续提纯的过程中需要对石英坩埚108进行匀速旋转，由于石英坩埚108内部的多晶硅在一段时间后是固液气三相混合状态，而旋转的过程中，因离心力的作用，固体状态的单晶硅会偏移至石英坩埚108的内壁处，且次分布为不均匀分布，又因为石英沙层109为流体状态，会导致石英坩埚108发生中心偏移的现象，偏移过后会加剧石英坩埚108出现偏移，导致籽晶轴106提升出来的单晶硅柱变得弯曲，降低提取出单晶硅柱的质量，同时影响了籽晶轴对坩埚内部边缘处的单晶硅进行提取，降低了对整体石硅溶液中单晶硅提取的速率；

保温部分的保温罩107与石英坩埚108的连接方式是卡接，以便于提纯过程出现意外而快速拆分热场收取原料进行及时止损，由于上述离心力的作用，石英坩埚17的晃动存在使得保温罩偏离的风险，一旦保温罩107出现偏移，保温罩内部的固液气三相混合环境将出现更变，使得籽晶杆提纯过程会出现多晶硅晶体，降低了单晶硅柱提纯的质量。

因此亟需提供一种保证单晶炉热场稳定的提纯装置。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，通过中央控制器6控制智能转轴21和电磁铁25，利用中央控制器使得智能转轴让带动磁力套转动，当外壳内部处于加热状态时，磁力组件对于耐高温磁性金属形成一个磁场固定耐高温磁性金属不发生晃动，从而使得石英坩锅和石英坩埚固定，保证了石英坩埚内部的多晶液稳定提纯，同时磁力组件产生的磁力处于倾斜状态可以分解出一个向下的力从而对石英坩锅进行二次固定，极大的保证了单晶硅提纯的稳定，增加了单晶硅提纯的质量，以解决上述背景技术中提出的问题。