[发明专利]一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备

权利要求书

1.一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，包括外壳(1)，所述外壳(1)的底部固定安装有底部轴杆(101)，所述外壳(1)顶部的一侧固定安装有进料管(105)，其特征在于：所述底部轴杆(101)的顶部固定安装有位于外壳(1)内腔的导温容器(102)，所述导温容器(102)的外部套装有加热器(103)，所述导温容器(102)的内部填充有石英沙层(109)，所述石英沙层(109)顶面的中部放置有石英坩埚(108)，所述石英坩埚(108)的外部通过稳定圈(5)卡接有石英坩锅(107)，所述石英坩锅(107)的正面安装有观测屏(4)，所述外壳(1)的顶部固定安装有拉伸组件(104)，所述拉伸组件(104)的底部安装有籽晶杆(106)，所述籽晶杆(106)的底部延伸至石英坩锅(107)的内部，所述石英坩锅(107)的外部固定套装有耐高温磁性金属(3)，所述外壳(1)的顶部固定安装有若干个磁力组件(2)，若干个所述磁力组件(2)形成一个圆环状，所述磁力组件(2)包括智能转轴(21)，所述智能转轴(21)的内表面通过转杆(23)活动安装有连接件(22)，所述连接件(22)的另一端固定安装有磁力套(24)，所述磁力套(24)的内部固定安装有电磁铁(25)，所述智能转轴(21)、电磁铁(25)和加热器(103)的输入端电性连接有中央控制器(6)。

2.根据权利要求1所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述磁力组件(2)远离外壳(1)的外部的磁极与耐高温磁性金属(3)外表面的磁极相异。

3.根据权利要求1所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述磁力组件(2)与外壳(1)内壁的活动角度为二十度至一百三十度。

4.根据权利要求3所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述加热器(103)处于加热状态时，所述磁力组件(2)与外壳(1)内壁的活动角度呈锐角。

5.根据权利要求1所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述加热器(103)呈电阻丝状，且电阻丝缠绕在导温容器(102)的外部。

6.根据权利要求1所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述稳定圈(5)有两个组装环构成，且两个组装环的顶部一体形成有与石英坩锅(107)底部相适配的固定块。

7.根据权利要求1所述的一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，其特征在于：所述智能转轴(21)的输出端与连接件(22)的输入端电性连接。