[发明专利]X射线照影方法及其系统

权利要求书

1.一种X射线照影方法，包含多个步骤：

(a)执行一第一物体照影，通过检测穿过一第一物体的一X射线，获得一第一物体强度信号；

(b)执行一基准照影，通过检测该第一物体不在一照影范围时该X射线，获得一基准强度信号；以及

(c)由该第一物体强度信号、该基准强度信号及该第一物体的一第一衰减系数进行运算，获得该第一物体的一第一厚度，

其中，获得该第一厚度的步骤(c)包含：

(c-1)由该基准强度信号的一X光能谱及该第一衰减系数进行运算而获得一第一厚度特征曲线；以及

(c-2)由该第一厚度特征曲线及该第一物体强度信号进行运算，获得该第一厚度，

其中，该第一厚度特征曲线经由一函式获得，该函式包含：

其中，符号N₁代表该第一物体强度信号，符号E为一X光射源的一最大管电压，符号μ代表为该第一衰减系数，符号i代表该X光能谱的一特定能量，符号x代表一像素位置的一物体体厚，符号Noi代表为X射线源所输出X光能谱的特定能量i所对应的光子数量。

2.如权利要求1所述的X射线照影方法，还包含多个步骤：

(d)执行一第二物体照影，通过检测穿过一第二物体的该X射线，获得一第二物体强度信号；以及

(e)由该第二物体强度信号、该基准强度信号及该第二物体的一第二衰减系数进行运算，获得该第二物体的一第二厚度。

3.如权利要求2所述的X射线照影方法，其中，获得该第二厚度的步骤(e)包含：

(e-1)由该基准强度信号的一X光能谱及该第二衰减系数进行运算而获得一第二厚度特征曲线；以及

(e-2)由该第二厚度特征曲线及该第二物体强度信号进行运算，获得该第二厚度。

4.如权利要求3所述的X射线照影方法，其中，该第二厚度特征曲线经由一函式获得，该函式为：

其中，符号N₁代表该第二物体强度信号，符号E为一X光射源的一最大管电压，符号μ代表为该第二衰减系数，符号i代表该X光能谱的一特定能量，符号x代表一像素位置的一物体体厚。

5.如权利要求2所述的X射线照影方法，其中，该第一物体是一载台，该第二物体包含一样本及该载台，该方法还包含步骤(f)：

将该第二厚度减去该第一厚度，获得一样本厚度。

6.一种X射线照影方法，包含多个步骤：

(a)执行一第一物体照影，通过检测穿过一第一物体的一X射线，获得一第一物体强度信号；

(b)执行一基准照影，通过检测该第一物体不在一照影范围中时该X射线，获得一基准强度信号；以及

(c)执行一第二物体照影，通过检测穿过一第二物体的该X射线，获得一第二物体强度信号；

(d)由该第一物体强度信号与该第二物体强度信号进行运算，获得一样本强度信号，其中该第一物体是一载台，该第二物体包含一样本及该载台；以及

(e)由该样本强度信号、该基准强度信号及一样本衰减系数进行运算，获得一样本厚度，

其中，获得该样本厚度的步骤(e)包含：

(e-1)由该基准强度信号的一X光能谱及该样本衰减系数进行运算，获得一样本厚度特征曲线；以及

(e-2)由该样本厚度特征曲线及该样本强度信号，获得该样本厚度，

其中，该样本厚度特征曲线经由一函式获得，该函式包含：

其中，符号N₁代表该样本强度信号，符号E为一X光射源的一最大管电压，符号μ代表为第一衰减系数，符号i代表该X光能谱的一特定能量，符号x代表一像素位置的一物体体厚，符号Noi代表为X射线源所输出X光能谱的特定能量i所对应的光子数量。

7.如权利要求6所述的X射线照影方法，还包含多个步骤：

(f)由该基准强度信号、该样本厚度及一样本吸收系数进行运算，获得一剩余光子数；以及

(g)由该基准强度信号与该剩余光子数进行运算，获得该样本的一吸收光子数。