[发明专利]紫外发光元件及全无机封装方法有效
| 申请号: | 202010145168.7 | 申请日: | 2020-03-05 |
| 公开(公告)号: | CN111162154B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
| 发明(设计)人: | 孙雷蒙;杨丹;李坤;刘芳 | 申请(专利权)人: | 华引芯(武汉)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/54;H01L33/58 |
| 代理公司: | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人: | 张宇娟 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 紫外 发光 元件 无机 封装 方法 | ||
本发明提供了一种紫外发光元件及全无机封装方法,包括步骤:制作具有金属镀层的透镜和基板,将UV‑LED芯片固定于所述基板上,使用电阻焊工艺实现透镜与基板的固定连接。通过巧妙设计透镜结构,利用电阻焊工艺,实现透镜与基板的准确定位和紧密结合,制作工艺简单,成本低、污染小,可大批量生产。本发明还提供一种发光面积大发光角度大、可靠性高的紫外发光元件,由于不使用任何有机物,可大幅提高UV‑LED的使用性能及寿命,实现真正的全无机封装。
技术领域
本发明涉及半导体领域,特别是紫外发光元件及全无机封装方法。
背景技术
2017年8月16日,《水俣公约》正式生效,公约要求缔约国自2020年1月1日起,禁止生产及进出口含汞产品(含汞量超过5毫克的普通照明用途的荧光灯)。《水俣公约》的签署与通过加速激励了UV-LED市场在全球各地起飞,包括日本、中国 、欧盟等多个市场,不论是家用,还是工业用传统灯管均需要使用UV-LED来替换。
传统的UV-LED,采用有机胶水封装,而UV-LED芯片发出的紫外光辐射会导致胶体黄化,降低UV-LED封装器件的的使用寿命。
近些年陆续有采所谓全无机封装或半无机封装等技术来封装UV-LED芯片。其中,半无机封装使用有机硅胶或环氧树脂将石英透镜黏附到陶瓷基板上。全无机封装主要是在石英透镜底部蒸镀金属,再通过锡膏或者纳米银胶等材料将透镜黏附到陶瓷基板。可见,半无机封装使用有机胶水,仍然无法完全避免有机物黄化失效的问题。全无机封装使用的锡膏或纳米银胶等材料,虽然固化后是无机物,但是锡膏或纳米银胶等材料是采用助焊剂加锡珠或银颗粒制作,在封装固化阶段,无法避免锡膏或纳米银胶内的助焊剂挥发至UV-LED腔体内,长时间使用时,腔体内的有机物会黄化衰变,黏附到腔体内透镜上,造成透镜透光率严重下降,影响UV-LED的使用效果。
故,需要研究开发一种新型的紫外发光元件的封装方法,以提高紫外发光元件的使用寿命和光效。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种全无机封装方法,包括步骤:
研磨抛光衬底,用激光在所述衬底上开设贯穿的通孔,所述通孔横截面直径为1~2mm,通孔间距为2~5mm,所述通孔排列形成多个矩形单元,采用溅射的方式使所述通孔内充满金属,所述金属为合金,在所述衬底上表面溅射覆盖所述通孔的第一金属镀层,所述衬底下表面溅射覆盖所述通孔的第二金属镀层,激光切割所述衬底,得到单颗透镜;
采用氮化铝或氧化铝粉末烧结、激光开孔、溅射镀铜、覆盖光阻、曝光显影、电镀或化学镀增厚铜层、刻蚀去膜得到带有焊盘和围坝的陶瓷基板,在所述围坝表面依次电镀3~5μm镍层和0.3~1μm金层;
通过共晶焊的方式将UV-LED芯片固定于所述焊盘上,将所述第二金属镀层与所述围坝上表面对准,使用点焊、平行封焊或凸焊的焊接工艺实现透镜与基板的固定连接。
进一步地,所述焊接工艺具体包括先使用点焊工艺进行预焊,然后使用平行封焊工艺全方位焊接。
进一步地,所述电阻焊工艺具体包括将透镜与基板对准放置于平行封焊机内,点焊1~10次,焊点间距0.1~1mm,然后采用双焊接导轮在所述透镜的第一金属镀层上移动,设置焊接电压为1~7V,焊接压力100~2000g,焊接时间0.5~10ms。
进一步地,所述点焊次数为3~4次,所述焊接电压为2~4V,所述焊接压力为350~500g,所述焊接时间为1~2ms,所述焊点间距为0.1~0.2mm。
进一步地,所述单颗透镜具有8个所述通孔。
进一步地,所述第二金属镀层与所述围坝宽度相同。
进一步地,所述第一金属镀层制作步骤包括:采用溅射方式形成厚度为5~10μm合金,然后溅射厚度为3~5μm镍,最后溅射厚度为0.3~1μm的金。
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