[发明专利]紫外发光元件及全无机封装方法有效

专利信息
申请号: 202010145168.7 申请日: 2020-03-05
公开(公告)号: CN111162154B 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 孙雷蒙;杨丹;李坤;刘芳 申请(专利权)人: 华引芯(武汉)科技有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L33/54;H01L33/58
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 张宇娟
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 紫外 发光 元件 无机 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种全无机封装方法,其特征在于,包括步骤:

研磨抛光衬底,用激光在所述衬底上开设贯穿的通孔,所述通孔横截面直径为1~2mm,通孔间距为2~5mm,所述通孔排列形成多个矩形单元,采用溅射的方式使所述通孔内充满金属,所述金属为合金,在所述衬底上表面溅射覆盖所述通孔的第一金属镀层,所述衬底下表面溅射覆盖所述通孔的第二金属镀层,激光切割所述衬底,得到单颗透镜;

采用氮化铝或氧化铝粉末烧结、激光开孔、溅射镀铜、覆盖光阻、曝光显影、电镀或化学镀增厚铜层、刻蚀去膜得到带有焊盘和围坝的陶瓷基板,在所述围坝表面依次电镀3~5μm镍层和0.3~1μm金层;

通过共晶焊的方式将UV-LED芯片固定于所述焊盘上,将所述第二金属镀层与所述围坝上表面对准,使用点焊、平行封焊或凸焊的焊接工艺实现透镜与基板的固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述焊接工艺具体包括先使用点焊工艺进行预焊,然后使用平行封焊工艺全方位焊接。

3.根据权利要求2所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述焊接工艺具体包括将透镜与基板对准放置于平行封焊机内,点焊1~10次,焊点间距0.1~1mm,然后采用双焊接导轮在所述透镜的第一金属镀层上移动,设置焊接电压为1~7V,焊接压力100~2000g,焊接时间0.5~10ms。

4.根据权利要求3所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述点焊次数为3~4次,所述焊接电压为2~4V,所述焊接压力为350~500g,所述焊接时间为1~2ms,所述焊点间距为0.1~0.2mm。

5.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述单颗透镜具有8个所述通孔。

6.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述第二金属镀层与所述围坝宽度相同。

7.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述第一金属镀层制作步骤包括:采用溅射方式形成厚度为5~10μm合金,然后溅射厚度为3~5μm镍,最后溅射厚度为0.3~1μm的金。

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