[发明专利]紫外发光元件及全无机封装方法有效
| 申请号: | 202010145168.7 | 申请日: | 2020-03-05 |
| 公开(公告)号: | CN111162154B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
| 发明(设计)人: | 孙雷蒙;杨丹;李坤;刘芳 | 申请(专利权)人: | 华引芯(武汉)科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/54;H01L33/58 |
| 代理公司: | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人: | 张宇娟 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 紫外 发光 元件 无机 封装 方法 | ||
1.一种全无机封装方法,其特征在于,包括步骤:
研磨抛光衬底,用激光在所述衬底上开设贯穿的通孔,所述通孔横截面直径为1~2mm,通孔间距为2~5mm,所述通孔排列形成多个矩形单元,采用溅射的方式使所述通孔内充满金属,所述金属为合金,在所述衬底上表面溅射覆盖所述通孔的第一金属镀层,所述衬底下表面溅射覆盖所述通孔的第二金属镀层,激光切割所述衬底,得到单颗透镜;
采用氮化铝或氧化铝粉末烧结、激光开孔、溅射镀铜、覆盖光阻、曝光显影、电镀或化学镀增厚铜层、刻蚀去膜得到带有焊盘和围坝的陶瓷基板,在所述围坝表面依次电镀3~5μm镍层和0.3~1μm金层;
通过共晶焊的方式将UV-LED芯片固定于所述焊盘上,将所述第二金属镀层与所述围坝上表面对准,使用点焊、平行封焊或凸焊的焊接工艺实现透镜与基板的固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述焊接工艺具体包括先使用点焊工艺进行预焊,然后使用平行封焊工艺全方位焊接。
3.根据权利要求2所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述焊接工艺具体包括将透镜与基板对准放置于平行封焊机内,点焊1~10次,焊点间距0.1~1mm,然后采用双焊接导轮在所述透镜的第一金属镀层上移动,设置焊接电压为1~7V,焊接压力100~2000g,焊接时间0.5~10ms。
4.根据权利要求3所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述点焊次数为3~4次,所述焊接电压为2~4V,所述焊接压力为350~500g,所述焊接时间为1~2ms,所述焊点间距为0.1~0.2mm。
5.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述单颗透镜具有8个所述通孔。
6.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述第二金属镀层与所述围坝宽度相同。
7.根据权利要求1所述的一种全无机封装方法,其特征在于,所述第一金属镀层制作步骤包括:采用溅射方式形成厚度为5~10μm合金,然后溅射厚度为3~5μm镍,最后溅射厚度为0.3~1μm的金。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华引芯(武汉)科技有限公司,未经华引芯(武汉)科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010145168.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于皮带修复的表面铲平装置及使用方法
- 下一篇:一种捕鼠器





