[发明专利]一种金属液态化模式的半导体封装工艺在审

专利信息
申请号: 202010140558.5 申请日: 2020-03-03
公开(公告)号: CN113345799A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 黄伟瑜 申请(专利权)人: 银特(上海)半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;H01L21/50;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200000 上海市崇明区向化*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 液态 模式 半导体 封装 工艺
【权利要求书】:

1.一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:包括以下方法;

S1:芯片的原料;

S2:搀加杂质将晶圆中植入离子;

S3:晶圆测试;

S4:封装;

S5:一般测试和特殊测试。

2.根据权利要求1所述的一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:所述S1晶圆,晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体需要的晶圆,晶圆越薄,成产的成本越低,但对工艺就要求的越高,晶圆涂膜晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力,其材料为光阻的一种。

3.根据权利要求1所述的一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:所述S2生成相应的P、N类半导体,具体工艺是是从硅片上暴露的区域开始,放入化学离子混合液中,这一工艺将改变搀杂区的导电方式,使每个晶体管可以通、断、或携带数据,简单的芯片可以只用一层,但复杂的芯片通常有很多层,这时候将这一流程不断的重复,不同层可通过开启窗口联接起来,这一点类似所层PCB板的制作原理,更为复杂的芯片可能需要多个二氧化硅层,这时候通过重复光刻以及上面流程来实现,形成一个立体的结构。

4.根据权利要求1所述的一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:所述S3晶圆上就形成了一个个格状的晶粒,通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。

5.根据权利要求1所述的一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:所述S4将制造完成晶圆固定,绑定引脚,按照需求去制作成各种不同的封装形式,这就是同种芯片内核可以有不同的封装形式的原因。

6.根据权利要求1所述的一种金属液态化模式的半导体封装工艺,其特征在于:所述S5前者是将封装后的芯片置于各种环境下测试其电气特性,如消耗功率、运行速度、耐压度等,经测试后的芯片,依其电气特性划分为不同等级。

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