[发明专利]一种霍尔离子源装置

说明书

本发明涉及离子源技术领域，具体而言，涉及一种霍尔离子源装置，包括：壳体、磁钢、冷却板、导热板和阳极件。将导热板可拆卸式连接于阳极件与冷却板之间。当导热板损坏时，只需对导热板进行更换，无需对冷却板和阳极件进行更换，如此，能够方便对导热板、阳极件和冷却板进行拆卸和更换，从而极大地降低维护成本。

技术领域

本发明涉及离子源技术领域，具体而言，涉及一种霍尔离子源装置 。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。霍尔离子源通过在真空环境下，利用发射的电子在电场和磁场的相互作用下，使充入真空室的气体产生离化，在电场和磁场的作用下发射离子。

霍尔离子源现已被广泛应用在一般辅助镀膜领域。为了确保霍尔离子源的正常使用，需要对霍尔离子源进行冷却。但传统的霍尔离子源的冷却方式是直接水冷，这样会造成不方便维护及拆卸。

发明内容

本发明提供了一种霍尔离子源装置 ，将导热板可拆卸式连接于阳极件与冷却板之间。当导热板损坏时，只需对导热板进行更换，无需对冷却板和阳极件进行更换，如此，能够方便对导热板、阳极件和冷却板进行拆卸和更换，从而极大地降低维护成本。

本发明新型实施例提供了一种霍尔离子源装置 ，包括：壳体、磁钢、冷却板、导热板和阳极件；

所述磁钢设置于所述壳体内并位于所述壳体的底部；

所述冷却板设置于所述壳体内并位于所述磁钢远离所述底部的一端；

所述阳极件设置于所述壳体内并位于所述壳体的第一开口处；

所述导热板可拆卸式连接于所述阳极件与所述冷却板之间。

在一种可替代的实施方式中，还包括：阴极电子发射装置；

所述阴极电子发射装置包括：气体过滤器、充气管、钽管、阳极板、阳极座和支架；

所述充气管分别与所述钽管的第一端以及所述气体过滤器可拆卸式连接；

所述钽管的第二端从所述阳极座开设的第一开口伸入所述阳极座的内部，并朝向可拆卸式连接于所述阳极座开设的第二开口处的阳极板；

所述支架与所述阳极座的外壁固定连接；

所述支架还通过连接件与所述壳体固定连接。

在一种可替代的实施方式中，所述支架包括定位件和承载件；

所述定位件固定设置于所述阳极座的外壁；

所述定位件内填充有绝缘件；

所述承载件的一端穿所述绝缘件并与所述绝缘件固定连接，另一端通过连接件与所述壳体固定连接。

在一种可替代的实施方式中，所述钽管的第二端的朝向与所述第二开口的朝向相交。

在一种可替代的实施方式中，所述磁钢的S极与所述壳体的底部连接，N极与所述冷却板连接。

在一种可替代的实施方式中，所述冷却板位于所述磁钢的一侧设置有用于注入冷却液的冷却腔。

在一种可替代的实施方式中，所述导热板位于所述磁钢的一侧设置有与所述导热板连通的充气管。

在一种可替代的实施方式中，所述阳极件靠近所述壳体的第一开口处设置有第二开口。

在一种可替代的实施方式中，所述第二开口为漏斗型。

在一种可替代的实施方式中，所述导热板卡设于所述阳极件和所述冷却板之间。

本发明与现有技术相比，具有的有益效果为：