[发明专利]一种霍尔离子源装置

权利要求书

1.一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，包括：壳体（1）、磁钢（2）、冷却板（3）、导热板（4）和阳极件（5）；

所述磁钢（2）设置于所述壳体（1）内并位于所述壳体（1）的底部；

所述冷却板（3）设置于所述壳体（1）内并位于所述磁钢（2）远离所述底部的一端；

所述阳极件（5）设置于所述壳体（1）内并位于所述壳体（1）的第一开口（11）处；

所述导热板（4）可拆卸式连接于所述阳极件（5）与所述冷却板（3）之间。

2.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，还包括：阴极电子发射装置；

所述阴极电子发射装置包括：气体过滤器（6）、第一充气管（7）、钽管（8）、阳极板（9）、阳极座（10）和支架（11）；

所述第一充气管（7）分别与所述钽管（8）的第一端以及所述气体过滤器（6）可拆卸式连接；

所述钽管（8）的第二端从所述阳极座（10）开设的第一开口伸入所述阳极座（10）的内部，并朝向可拆卸式连接于所述阳极座（10）开设的第二开口处的阳极板（9）；

所述支架（11）与所述阳极座（10）的外壁固定连接；

所述支架（11）还通过连接件（12）与所述壳体（1）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述支架（11）包括定位件（111）和承载件（112）；

所述定位件（111）固定设置于所述阳极座（10）的外壁；

所述定位件（111）内填充有绝缘件（13）；

所述承载件（112）的一端穿所述绝缘件（13）并与所述绝缘件（13）固定连接，另一端通过连接件（12）与所述壳体（1）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述磁钢（2）的S极与所述壳体（1）的底部连接，N极与所述冷却板（3）连接。

5.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述冷却板（3）位于所述磁钢（2）的一侧设置有用于注入冷却液的冷却腔（31）。

6.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述导热板（4）位于所述磁钢（2）的一侧设置有与所述导热板（4）连通的第二充气管（41）。

7.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述阳极件（5）靠近所述壳体（1）的第一开口（14）处设置有第二开口（15）。

8.根据权利要求2所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述钽管（8）的第二端的朝向与所述第二开口（15）的朝向相交。

9.根据权利要求8所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述第二开口（15）为漏斗型。

10.根据权利要求1所述的一种霍尔离子源装置 ，其特征在于，所述导热板（4）卡设于所述阳极件（5）和所述冷却板（3）之间。