[发明专利]表面分析装置

说明书

本发明提供一种表面分析装置。驱动机构(45)以测量部(20)与试样台(30)的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部(20)和试样台(30)相对性地位移。在第2位置关系时，试样台(30)自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置(201)包含生成向扫描器(32)供给的高电压的高电压生成电路(203)。在第2位置关系时，第1机械式开关(253)不使电源(202)的电压向高电压生成电路(203)供给。

技术领域

本发明涉及一种表面分析装置。

背景技术

作为以往的分析装置，在日本特开平8-101219号公报中公开了一种使用设有探针的悬臂来分析试样面上的微细构造的扫描型探针显微镜。

在专利文献1公开的扫描型探针显微镜中，包含光学系统的测量部能移动地固定于相对于试样台以预定的位置关系固定的基座。在测量试样时，测量部配置于试样台的上方。通过使测量部自测量时的位置后退，在试样台的上方形成用于更换试样的空间，由此能够容易地进行试样的更换作业。

发明内容

但是，在扫描型探针显微镜的电源接通的状态下，对压电扫描器施加有高电压。因而，在更换压电扫描器时，可能成为对压电扫描器施加有高电压的状态。因而，在更换压电扫描器时，用户必须使扫描型探针显微镜的电源断开。

在打开了覆盖光学系统的盖的状态下，激光光源也是保持点亮状态不变，保持对压电扫描器施加着电压的状态不变。在该状态下，扫描型探针显微镜仍像通常那样动作，因此当用户误接触了观察部分或光学显微镜等的调整用旋钮时，扫描型探针显微镜可能错误动作。另外，在打开了盖的状态下，激光可能射出。

本发明的目的在于，提供一种能够防止扫描型探针显微镜因用户的操作而错误动作的表面分析装置。

本发明的一技术方案的表面分析装置包括：试样台，其用于载置试样；试样台保持部，其保持试样台；测量部，其包含能够配置为与试样台相对的悬臂以及用于驱动悬臂的悬臂驱动部；驱动机构，其用于以测量部与试样台的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部和试样台相对性地位移；控制装置；以及第1机械式开关。试样台包含扫描器和试样载置部。测量部收纳于上部壳体。在第1位置关系时，试样台收纳于下部壳体。在第2位置关系时，试样台自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置包含与电源连接并生成向扫描器供给的高电压的高电压生成电路。在第1位置关系时，第1机械式开关使电源的电压向高电压生成电路供给，在第2位置关系时，第1机械式开关不使电源的电压向高电压生成电路供给。

根据与附图关联地理解的与本发明相关的以下详细的说明，可以清楚本发明的上述及其他目的、特征、技术方案以及优点。

附图说明

图1是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的测量时的状态的立体图。

图2是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的取出试样时或更换扫描器时的状态的立体图。

图3是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的盖打开后的状态的立体图。

图4是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的壳体内的结构的一部分的立体图。

图5A是用于说明机械式开关252的动作的图。图5B是用于说明机械式开关253的动作的图。

图6是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的试样台30存在于测量位置的状态的概略剖视图。

图7是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的试样台30存在于退避位置的状态的概略剖视图。

图8是表示实施方式的扫描型探针显微镜的测量装置1的试样台30存在于试样取出及扫描器更换的位置的状态的概略剖视图。

图9是表示实施方式的试样台保持部和移动机构的一部分的立体图。