[发明专利]表面分析装置

权利要求书

1.一种表面分析装置，其包括：

试样台，其用于载置试样；

试样台保持部，其保持所述试样台；

测量部，其包含能够配置为与所述试样台相对的悬臂以及用于驱动所述悬臂的悬臂驱动部；

驱动机构，其用于以所述测量部与所述试样台的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使所述测量部和所述试样台相对性地位移；

控制装置；以及

第1机械式开关，

所述试样台包含扫描器和试样载置部，

所述测量部收纳于上部壳体，

在所述第1位置关系时，所述试样台收纳于下部壳体，

在所述第2位置关系时，所述试样台自所述下部壳体的内部暴露于外侧，

所述控制装置包含与电源连接并生成向所述扫描器供给的高电压的高电压生成电路，

在所述第1位置关系时，所述第1机械式开关使所述电源的电压向所述高电压生成电路供给，在所述第2位置关系时，所述第1机械式开关不使所述电源的电压向所述高电压生成电路供给。

2.根据权利要求1所述的表面分析装置，其中，

所述驱动机构构成为：在想要取出所述试样台时，通过使所述试样台在所述悬臂与所述试样台相对的第1方向上以所述测量部与所述试样台远离的方式相对于所述测量部相对性地位移，之后使所述试样台沿与所述第1方向交叉的第2方向滑动移动，从而使所述试样台与所述测量部的位置关系从第1位置关系变化为第2位置关系。

3.根据权利要求2所述的表面分析装置，其中，

所述驱动机构包含试样台保持部和移动机构，所述试样台保持部保持所述试样台，所述移动机构用于使所述试样台在测量位置与试样取出及扫描器更换的位置之间移动，

所述第1方向为上下方向，

所述移动机构构成为：以所述试样台在所述测量位置与位于比所述测量位置靠下方的位置的退避位置之间升降的方式使所述试样台保持部升降，以所述试样台在所述退避位置与所述试样取出及扫描器更换的位置之间移动的方式使所述试样台保持部滑动移动。

4.根据权利要求3所述的表面分析装置，其中，

通过所述移动机构使所述试样台沿所述第2方向滑动移动，使所述试样台与所述测量部的位置关系成为第1位置关系，从而所述第1机械式开关被按下而使所述电源与所述高电压生成电路电连接。

5.根据权利要求3所述的表面分析装置，其中，

所述测量部包含激光二极管，

所述表面分析装置还具备第2机械式开关，

在所述第1位置关系时，第2机械式开关使所述电源的电压向所述激光二极管供给，在所述第2位置关系时，第2机械式开关不使所述电源的电压向所述激光二极管供给。

6.根据权利要求5所述的表面分析装置，其中，

通过所述移动机构使所述试样台沿所述第2方向滑动移动，使所述试样台与所述测量部的位置关系成为第1位置关系，从而所述第2机械式开关被按下而使所述电源与所述激光二极管电连接。