[发明专利]一种掩膜版在审
申请号: | 202010131342.2 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111206215A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 余强根;王水俊;王亚;卓林海 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 | ||
本发明提供一种掩膜版,其属于显示技术领域。该掩膜版包括掩膜版本体和框架,所述掩膜版本体包括焊接区和非焊接区;框架用于支撑掩膜版本体,所述框架包括两个相对的边框;其中,所述框架的至少一边框与所述掩膜版本体的焊接区通过沿远离所述非焊接区方向排布的至少两个焊点组连接,所述至少两个焊点组包括最靠近所述非焊接区的第一焊点组与第二焊点组,且所述第一焊点组与所述第二焊点组的多个焊点在所述焊接区与所述非焊接区的连接面所在的平面上的投影至少部分不重叠。本发明的掩膜版应力分布均匀,褶皱程度降低,良率得以提高。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜版。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示技术由于具有器件轻薄、功耗低、对比度高、色域高和可实现柔性显示等特点,逐渐成为平板显示技术的主要发展方向。OLED显示面板的制备一般采用将有机材料蒸镀到基板上的方式。蒸镀有机材料通常需要使用掩膜版以形成各种图案膜层。掩膜版有普通金属掩膜版(CMM,Common MetalMask)、精细金属掩膜版(FMM,Fine Metal Mask)等类型。但是,在制作显示面板时使用的掩膜版存在褶皱问题,影响OLED显示面板的质量。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种掩膜版,以降低掩膜版的褶皱程度,提升显示面板的蒸镀良率。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种掩膜版,包括掩膜版本体和框架,掩膜版本体包括焊接区和非焊接区;框架用于支撑掩膜版本体,框架包括两个相对的边框;其中,框架的至少一边框与掩膜版本体的焊接区通过沿远离非焊接区方向排布的至少两个焊点组连接,至少两个焊点组包括相邻的第一焊点组和第二焊点组,且第一焊点组和第二焊点组的多个焊点在焊接区与非焊接区的连接面所在的平面上的投影至少部分不重叠。
其中“焊接区”为掩膜版本体与边框对应接触连接的区域。“非焊接区”为掩膜版板本体对应于用于蒸镀显示面板的膜层。
本发明掩膜版的一个边框与掩膜版本体的焊接区之间设置至少两个焊点组,且最靠近非焊接区的第一焊点组和第二焊点组由于至少部分焊点在焊接区与非焊接区的连接面所在的平面上的投影不重叠,使得第一焊点组和第二焊点组的至少部分焊点交错设置,通过两个焊点组的至少部分焊点交错设置,可以使得掩膜版本体焊接于框架的一个边框上时,掩膜版本体的应力分布均匀,即可以使得掩膜版本体的焊接区和非焊接区的应力均分布均匀。因此,可以降低掩膜版本体的焊接区和非焊接区的褶皱程度,减少掩膜版本体焊接于框架的边框上虚焊的概率,降低掩膜版本体非焊接区的褶皱程度,提高掩膜版本体的对位精度,提高掩膜版的良率。
其中,至少两个焊点组包括两个焊点组、三个焊点组或四个焊点组。其中当焊点组件为两个焊点组件时,通过第一焊点组与第二焊点组中的焊点至少部分交错设置,可以实现降低掩膜版的褶皱度;当设置三个焊点组或四个焊点组时,可以进一步提高掩膜版本体与框架的焊接牢固度。
第一焊点组和第二焊点组的焊点在焊接区与非焊接区的连接面所在的平面上的投影没有重叠,且第一焊点组和/或第二焊点组内的焊点等间距排布。即,第一焊点组和第二焊点组的焊点全部交错设置,使得第一焊点组与第二焊点组所造成的掩膜版本体应力分布更均匀。其中优选为第一焊点组等间距排布,使得边框与掩膜版本体焊接更为牢固、均匀。更为优选地第一焊点组和第二焊点组均等间距排布,边框与掩膜版本体通过焊点焊接后应力分布更为均匀,掩膜版本体褶皱度降低。
其中,第二焊点组的至少部分焊点位于第一焊点组其中相邻两个焊点中心连接的中垂线上。这使得第一焊点组的相邻两个焊点与位于其中垂线上的第二焊点组的焊点构成一个等腰三角形,掩膜板本体在第一焊点组相邻两个焊点处受到的应力能够通过第二焊点组中位于该相邻两个第一焊点组焊点中心连线中垂线上的焊点进行均匀分散,使得掩膜版本体应力分布更均匀。
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