[发明专利]一种掩膜版在审
申请号: | 202010131342.2 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN111206215A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 余强根;王水俊;王亚;卓林海 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 | ||
1.一种掩膜版,其特征在于,包括:
掩膜版本体,所述掩膜版本体包括焊接区和非焊接区;
框架,用于支撑掩膜版本体,所述框架包括两个相对的边框;
其中,所述框架的至少一边与所述掩膜版本体的焊接区通过沿远离所述非焊接区方向排布的至少两个焊点组连接,所述至少两个焊点组包括最靠近所述非焊接区的第一焊点组与第二焊点组,且所述第一焊点组与所述第二焊点组的多个焊点在所述焊接区与所述非焊接区的连接面所在的平面上的投影至少部分不重叠。
2.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述至少两个焊点组包括两个焊点组、三个焊点组或四个焊点组。
3.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第一焊点组和所述第二焊点组的所述焊点在所述焊接区与所述非焊接区的连接面所在的平面上的投影没有重叠,且所述第一焊点组和/或所述第二焊点组内的所述焊点等间距排布。
4.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第二焊点组的至少部分所述焊点位于所述第一焊点组其中相邻两个所述焊点中心连线的中垂线上。
5.根据权利要求4所述的掩膜版,其特征在于,所述第一焊点组的相邻两个所述焊点与位于所述第一焊点组的相邻两个所述焊点中心连线的中垂线上的所述第二焊点组的焊点构成一个锐角三角形。
6.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第一焊点组内的所述各个焊点的连线与所述第二焊点组内的所述各个焊点的连线平行。
7.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述第一焊点组内的相邻两个所述焊点之间的距离为1.6-3.2毫米,和/或所述第二焊点组内的相邻两个所述焊点之间的距离为1.6-3.2毫米。
8.根据权利要求7所述的掩膜版,其特征在于,所述第一焊点组内的相邻两个所述焊点之间的距离为2.3-3.2毫米,和/或所述第二焊点组内的相邻两个所述焊点之间的距离为2.3-3.2毫米。
9.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述沿远离所述非焊接区方向的所述至少两个焊点组内的所述焊点数量呈等差递减分布,公差优选为二。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的掩膜版,其特征在于,所述至少两个焊点组均设置于所述框架上。
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