[发明专利]半导体组件及半导体封装在审
| 申请号: | 202010123545.7 | 申请日: | 2020-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN111627879A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
| 发明(设计)人: | G.内鲍尔;A.米尔钱达尼 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/49;H01L25/07 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘茜璐;申屠伟进 |
| 地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 组件 封装 | ||
1.一种半导体封装(10;50;60),包括:
至少一个管芯垫(11);
多个外部接触部(12);
第一半导体器件(14);
第二半导体器件(15;15';15),包括具有源极电极(18)、栅极电极(19)和漏极电极(20)的第一晶体管器件(17),所述第二半导体器件(15;15';15)包括前表面(21)和后表面(22)、在所述前表面(21)上的前金属化(23)和在所述后表面(22)上的后金属化(24),其中所述前金属化(23)包括耦合到所述源极电极(18)的第一电源接触垫(25),所述第一电源接触垫(25)安装在所述管芯垫(11)上,并且所述后金属化(24)包括电耦合到所述漏极电极(20)的第二电源接触垫(26)和与所述第二电源接触垫(26)和所述漏极电极(20)电绝缘的辅助横向再分布结构(27),
其中,所述第一半导体器件(15;15';15)电耦合到所述辅助横向再分布结构(27)。
2.根据权利要求1所述的半导体封装(10;50;60),其中所述辅助横向再分布结构(27)包括导电迹线(28;64),其延伸到导电迹线(28;64)的一端或两端处的接触垫(29、30)中。
3.根据权利要求1或2所述的半导体封装(10),其中,所述第一半导体器件(15)通过所述第二半导体器件(15)上的所述辅助横向再分布结构(27)电耦合到外部接触部(12'),并且所述辅助横向再分布结构(27)可操作地未连接到所述第二晶体管器件(15)。
4.根据权利要求1或2所述的半导体封装(50),其中所述第一半导体器件(14)包括栅极驱动器电路并且通过所述辅助横向再分布结构(27)电耦合到所述第一晶体管器件(17)的所述栅极电极(20)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体封装(50;60),其中所述第二半导体器件(15';15)还包括从所述后表面(22)延伸到所述前表面(21)的至少一个穿衬底通孔(55、67、68),所述穿衬底通孔(55、67、68)电耦合到所述后表面(22)上的所述辅助横向再分布结构(17)。
6.根据权利要求5所述的半导体封装(50,60),其中所述穿衬底通孔(55,67,67)还电耦合到所述前表面(21)上的浇道(51),其电耦合到所述第一晶体管器件(17)的所述栅极电极(19)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的半导体封装,其中,所述第二半导体组件(15)还包括辅助结构(70),并且所述辅助横向再分布结构(17)电耦合到所述辅助结构(70)。
8.根据权利要求7所述的半导体封装,其中,所述辅助结构(70)是提供电流感测的辅助晶体管器件、或提供温度感测的辅助晶体管器件、或下拉辅助晶体管器件。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的半导体封装(60),其中所述后表面(22)上的所述第二电源接触垫(26)被分成两个或更多个部分(61;62;63),并且其中所述辅助横向再分布结构(27)包括位于所述第二电源接触垫的两个相邻部分(61;62)之间并且与其电绝缘的第一导电迹线(65)、以及布置在所述后表面(22)的外围边缘区中并且连接到所述第一导电迹线(65)的第二导电迹线(64),其中所述穿衬底通孔(67)在所述后表面(22)上的所述第一导电迹线(65)和所述前表面(21)上的所述浇道(51)之间或者在所述后表面(22)上的所述第二导电迹线(64)和所述前表面(21)上的所述浇道(51)之间延伸。
10.根据权利要求9所述的半导体封装(60),其中所述前表面(21)上的所述浇道(51)基本上垂直于所述后表面(22)上的所述第一导电迹线(65)延伸,并且所述穿衬底通孔(67)在所述第一导电迹线(65)和所述浇道(51)之间延伸。
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