[发明专利]分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法在审

申请号：	202010118940.6	申请日：	2020-02-26
公开（公告）号：	CN111668142A	公开（公告）日：	2020-09-15
发明（设计）人：	丰卷俊明;贝瀬精一;沼仓雅博;武山裕纪	申请（专利权）人：	东京毅力科创株式会社
主分类号：	H01L21/673	分类号：	H01L21/673;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
代理公司：	北京尚诚知识产权代理有限公司 11322	代理人：	龙淳;刘芃茜
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	隔板保管容器处理系统输送方法
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【说明书】：

本发明提供分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向插入的消耗部件。构成为能够代替上述消耗部件而收纳在上述多个收纳部中的分隔板，其具有构成为能够夹在发光部与受光部之间的第1部分。固定部将多个收纳部固定在去往配置消耗部件的真空处理室的输送路径上。本发明能够防止基片和消耗部件的误输送。

技术领域

本发明涉及保管容器的分隔板、保管容器、基片处理系统和基片的输送方法。

背景技术

已知一种将收纳有基片(例如半导体基片。以下也称为晶片)的承载器配置在基片处理装置的附近，从该承载器自动地输送基片的系统(专利文献1)。另外，提出有将用于对基片处理装置送入送出晶片的机械臂(robot)，用于取出和更换消耗部件的技术(专利文献2)。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2003-168715号公报

专利文献2：日本特开2017-98540号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供一种能够防止基片和消耗部件的误输送的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的消耗部件的保管容器包括多个收纳部、分隔板和固定部。多个收纳部构成为能够逐一收纳从一个方向送入送出的消耗部件。分隔板构成为能够收纳在多个收纳部的一个收纳部中，其具有构成为能够夹在检测部所具有的发光部与受光部之间的第1部分。固定部以能够将消耗部件从多个收纳部送入送出的方式在输送路径上进行固定。

发明效果

依照本发明，能够防止基片和消耗部件的误输送。

附图说明

图1是一实施方式的基片处理系统的概略结构图。

图2是表示一实施方式的保管容器的一例的概略结构图。

图3是表示一实施方式的分隔板的一例的概略结构图。

图4是表示一实施方式的基片处理系统中设置有晶片用FOUP的状态的图。

图5是表示在晶片用FOUP的插槽配置有晶片的状态的图。

图6是第2输送机构的概略立体图。

图7是第2输送机构的概略正视图。

图8是表示一实施方式的基片的输送方法的流程的一例的流程图。

附图标记说明