[发明专利]槽式制绒上料机及硅片上料流程

说明书

本发明公开了槽式制绒上料机及硅片上料流程，涉及硅片搬运技术领域。通过花篮输跑道、堆叠盒输送跑道和硅片输送跑道实现了花篮、堆叠盒与硅片的输送与流转，通过堆叠盒升降顶片装置的设置使得硅片能从堆叠盒中被获取，通过双工位吸盘装置从堆叠盒获取硅片，同时将硅片放置在硅片输送跑道上进行输送，通过装片装置的设置使得硅片能够进入花篮，通过花篮翻转装置的设置，使得原来朝向槽式制绒上料机的花篮中的硅片能够进行翻转从而使得硅片方向朝向反应炉，实现了与反应炉的对接。

技术领域

本发明涉及硅片搬运技术领域，尤其涉及槽式制绒上料机及硅片上料流程。

背景技术

现市面上制绒机前的硅片搬运和输送还是采用的原始的人工进行搬运和装卸片，反应炉内的气体液体都会带有较高的温度和一定的毒性，对人员的身体健康造成了极大的影响，同时人工操作效率低下。

发明内容

为了能够提高硅片转运的效率，本发明的技术方案提供了一种槽式制绒上料机及硅片上料流程。技术方案如下：

第一方面，本发明提供了一种槽式制绒上料机，包括花篮输送跑道、堆叠盒输送跑道、双工位吸盘装置、堆叠盒升降顶片装置、硅片输送跑道、硅片缓存装置、码垛机、装片装置、花篮翻转装置和花篮搬运装置，花篮输送跑道被配置于输送空置花篮，花篮输送跑道与装片装置对接，堆叠盒输送跑道被配置为输送满载硅片的堆叠盒，堆叠盒输送跑道与堆叠盒升降顶片装置对接，同时堆叠盒升降顶片装置与双工位吸盘装置对接，堆叠盒升降顶片装置被配置为将堆叠盒中的硅片顶出并被双工位吸盘装置获取，双工位吸盘装置与硅片输送跑道对接，双工位吸盘装置被配置为获取堆叠盒升降顶片装置产生的硅片并放置在硅片输送跑道上，硅片输送跑道被配置为输送硅片至装片装置和硅片缓存装置，硅片缓存装置被配置为缓存硅片输送跑道上的硅片，装片装置被配置为从花篮输送跑道获取花篮，从硅片输送跑道获取硅片，并将硅片均布在花篮内，装片装置与码垛机对接，码垛机被配置为将装片装置的满载花篮搬运至花篮翻转装置，花篮翻转装置被配置为将花篮旋转180°，花篮搬运装置从花篮翻转装置处获取满载花篮并将满载花篮输送至反应炉。

通过花篮输跑道、堆叠盒输送跑道和硅片输送跑道实现了花篮、堆叠盒与硅片的输送与流转，通过堆叠盒升降顶片装置的设置使得硅片能从堆叠盒中被获取，通过双工位吸盘装置从堆叠盒获取硅片，同时将硅片放置在硅片输送跑道上进行输送，通过装片装置的设置使得硅片能够进入花篮，通过花篮翻转装置的设置，使得原来朝向槽式制绒上料机的花篮中的硅片能够进行翻转从而使得硅片方向朝向反应炉，实现了与反应炉的对接。

特别地，还包括堆叠盒回收跑道，堆叠盒回收跑道设置在堆叠盒输送跑道的下方，堆叠盒回收跑道与堆叠盒升降顶片装置对接，堆叠盒回收跑道被配置于输送空载的堆叠盒。

通过堆叠盒回收跑道实现了堆叠盒在释放完硅片后能后自动输送出槽式制绒上料机的功能，避免了人工去获取堆叠盒，减少了人力成本，加快了硅片运转效率。

具体的，花篮搬运装置为三轴机械臂。

具体的，硅片输送跑道、装片平台、双工位吸盘装置、堆叠盒输送跑道和堆叠盒升降顶片装置均为成对设置。

通过成对的设置，大大加快了生产节拍。

另一方面，本发明还提供了硅片上料流程，包括花篮运转流程、硅片运转流程和堆叠盒运转流程，

花篮流转流程包括以下步骤：花篮流转步骤一：AGV小车将空花篮输送至花篮输送跑道；花篮流转步骤二：花篮输送跑道将空花篮输送至码垛机；花篮流转步骤三：码垛机将空花篮输送至装片装置；花篮流转步骤四：码垛机将满花篮输送至花篮翻转装置；花篮流转步骤五：花篮搬运装置将满花篮搬运至反应炉；

硅片流转流程包括以下步骤：硅片流转步骤一：双工位吸盘装置将堆叠盒升降顶片机构获取的硅片搬运至硅片输送跑道；硅片流转步骤二：硅片输送跑道将硅片输送至装片平台；硅片流转步骤三：装片平台将硅片均布在花篮内；