[发明专利]槽式制绒上料机及硅片上料流程

权利要求书

1.槽式制绒上料机，其特征在于，包括花篮输送跑道、堆叠盒输送跑道、双工位吸盘装置、堆叠盒升降顶片装置、硅片输送跑道、硅片缓存装置、码垛机、装片装置、花篮翻转装置和花篮搬运装置，所述花篮输送跑道被配置于输送空置花篮，所述花篮输送跑道与所述装片装置对接，所述堆叠盒输送跑道被配置为输送满载硅片的堆叠盒，所述堆叠盒输送跑道与堆叠盒升降顶片装置对接，同时所述堆叠盒升降顶片装置与所述双工位吸盘装置对接，所述堆叠盒升降顶片装置被配置为将堆叠盒中的硅片顶出并被所述双工位吸盘装置获取，所述双工位吸盘装置与所述硅片输送跑道对接，所述双工位吸盘装置被配置为获取所述堆叠盒升降顶片装置产生的硅片并放置在所述硅片输送跑道上，所述硅片输送跑道被配置为输送硅片至所述装片装置和所述硅片缓存装置，所述硅片缓存装置被配置为缓存所述硅片输送跑道上的硅片，所述装片装置被配置为从所述花篮输送跑道获取花篮，从所述硅片输送跑道获取硅片，并将硅片均布在花篮内，所述装片装置与所述码垛机对接，所述码垛机被配置为将所述装片装置的满载花篮搬运至所述花篮翻转装置，所述花篮翻转装置被配置为将花篮旋转180°，所述花篮搬运装置从所述花篮翻转装置处获取满载花篮并将满载花篮输送至反应炉。

2.根据权利要求1所述的槽式制绒上料机，其特征在于，还包括堆叠盒回收跑道，所述堆叠盒回收跑道设置在所述堆叠盒输送跑道的下方，所述堆叠盒回收跑道与所述堆叠盒升降顶片装置对接，所述堆叠盒回收跑道被配置于输送空载的堆叠盒。

3.根据权利要求1所述的槽式制绒上料机，其特征在于，所述花篮搬运装置为三轴机械臂。

4.根据权利要求1所述的槽式制绒上料机，其特征在于，所述硅片输送跑道、所述装片平台、所述双工位吸盘装置、所述堆叠盒输送跑道和所述堆叠盒升降顶片装置均为成对设置。

5.硅片上料流程，应用于如权利要求1-4任一所述的槽式制绒上料机，其特征在于，包括花篮运转流程、硅片运转流程和堆叠盒运转流程，所述花篮流转流程包括以下步骤：

花篮流转步骤一：AGV小车将空花篮输送至所述花篮输送跑道；

花篮流转步骤二：所述花篮输送跑道将空花篮输送至所述码垛机；

花篮流转步骤三：所述码垛机将空花篮输送至所述装片装置；

花篮流转步骤四：所述码垛机将满花篮输送至所述花篮翻转装置；

花篮流转步骤五：所述花篮搬运装置将满花篮搬运至反应炉；

所述硅片流转流程包括以下步骤：

硅片流转步骤一：所述双工位吸盘装置将堆叠盒升降顶片机构获取的硅片搬运至所述硅片输送跑道；

硅片流转步骤二：所述硅片输送跑道将硅片输送至所述装片平台；

硅片流转步骤三：所述装片平台将硅片均布在所述花篮内；

所述堆叠盒运转流程包括以下步骤：

堆叠盒流转步骤一：堆叠盒通过所述堆叠盒输送跑道输送至所述堆叠盒升降顶片装置，所述堆叠盒升降顶片装置从所述堆叠盒中获取硅片；

堆叠盒流转步骤二：所述堆叠盒升降顶片装置将空堆叠盒输送至所述堆叠盒回收跑道；

堆叠盒流转步骤三：所述堆叠盒回收跑道将空堆叠盒输送出所述槽式制绒上料机。