[发明专利]压印装置及其控制方法、物品制造方法和计算机可读介质

说明书

公开了压印装置及其控制方法、物品制造方法和计算机可读介质。一种压印装置，该压印装置在基板的多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案，该装置包括：用户界面，该用户界面被配置成允许用户执行用于将所述多个压射区域中的每个压射区域指派给多个组中的任一个组的编辑，以使得所述多个组中的每个组由如下至少一个压射区域形成，压印材料从分配器被连续地供给到所述至少一个压射区域上。

技术领域

本发明涉及压印装置、物品制造方法、压印装置的控制方法和计算机可读介质。

背景技术

压印装置在基板的多个压射区域(shot region)中的每个压射区域上形成由压印材料的固化产物构成的图案。在一种类型的压印装置中，对于多个压射区域中的每个压射区域执行以下处理：通过分配器将压印材料布置在基板的一个压射区域上，使模具与压印材料接触，并且使压印材料固化。在另一种类型的压印装置中，对于基板的至少两个压射区域连续执行以下处理：通过分配器将压印材料连续地布置在所述至少两个压射区域上，使模具与压印材料接触，并且使压印材料固化。在又一类型的压印装置中，对于基板的多个压射区域连续执行以下处理：装载通过外部装置在其上布置了压印材料的基板，使模具与压印材料接触，并且使压印材料固化。

按照惯例，尚未提供允许用户编辑其中由分配器连续布置压印材料的一组压射区域的功能，并且压印装置的操作自由度低。

发明内容

本发明提供了一种有利于提高压印装置的操作自由度的技术。

本发明的第一方面提供一种压印装置，该压印装置在基板的多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案，该装置包括：用户界面，该用户界面被配置成允许用户执行用于将所述多个压射区域中的每个压射区域指派给多个组中的任一个组以使得所述多个组中的每个组由如下至少一个压射区域形成的编辑，压印材料从分配器被连续地供给到所述至少一个压射区域上。

本发明的第二方面提供一种物品制造方法，该方法包括：使用如本发明的第一方面定义的压印装置在基板上形成图案；并且加工在所述形成中形成了图案的基板。

本发明的第三方面提供一种压印装置的控制方法，该压印装置在基板的多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案，该方法包括：提供用户界面，该用户界面被配置成允许用户执行用于将所述多个压射区域中的每个压射区域指派给多个组中的任一个组以使得所述多个组中的每个组由如下至少一个压射区域形成的编辑，压印材料从分配器被连续地供给到所述至少一个压射区域上。

本发明的第四方面提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质存储控制压印装置的程序，该压印装置在基板的多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案，该程序使计算机操作以提供用户界面，该用户界面被配置成允许用户执行用于将所述多个压射区域中的每个压射区域指派给多个组中的任一个组以使得所述多个组中的每个组由如下至少一个压射区域形成的编辑，压印材料从分配器被连续地供给到所述至少一个压射区域上。

通过以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的更多的特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出根据实施例的压印装置的布置的图；

图2A是示出压印头的布置示例的图；

图2B是示出分配器的布置示例的图；

图3是示例性地示出可以被包括在压印装置或压印装置主体中的基板运送单元的图；

图4A和图4B是示出模具的布置示例的图；

图5A至图5F是示例性地示出通过压印处理来加工基板的方法的图；

图6是示例性地示出由用户界面在显示器上提供的界面画面的图；