[发明专利]压印装置及其控制方法、物品制造方法和计算机可读介质在审
| 申请号: | 202010082096.6 | 申请日: | 2020-02-07 |
| 公开(公告)号: | CN111552149A | 公开(公告)日: | 2020-08-18 |
| 发明(设计)人: | 近藤阳介 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 宋岩 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压印 装置 及其 控制 方法 物品 制造 计算机 可读 介质 | ||
1.一种压印装置,该压印装置在基板的多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案,该装置包括:
用户界面,被配置成允许用户执行用于将所述多个压射区域中的每个压射区域指派给多个组中的任一个组的编辑,以使得所述多个组中的每个组由如下至少一个压射区域形成,压印材料从分配器被连续地供给到所述至少一个压射区域上。
2.根据权利要求1所述的压印装置,其中,用户界面包括禁止器,该禁止器被配置成禁止不满足预设约束的编辑。
3.根据权利要求2所述的压印装置,其中,约束包括以下约束中的至少一个:关于属于一个组的压射区域要满足的在压射区域之间的间隔的约束,以及关于属于一个组的压射区域的上限数量的约束。
4.根据权利要求2所述的压印装置,其中,用户界面允许用户执行用于将形成由压印材料构成的图案的次序指派给所述多个压射区域中的每个压射区域的编辑。
5.根据权利要求4所述的压印装置,其中,约束包括关于如下压射区域的布置方向的约束,压印材料从分配器被连续地供给到所述压射区域上。
6.根据权利要求4所述的压印装置,其中,约束包括:在由压印材料构成的图案在形成一组的所有压射区域中的每个压射区域中形成之前禁止由压印材料构成的图案在另一组的每个压射区域中形成的约束。
7.根据权利要求2所述的压印装置,其中,用户界面包括显示控制器,该显示控制器被配置成响应于用户选择编辑目标而显示满足关于该编辑目标的约束的候选。
8.根据权利要求1所述的压印装置,其中,用户界面允许用户执行用于将形成由压印材料构成的图案的次序指派给所述多个压射区域中的每个压射区域的编辑。
9.根据权利要求1所述的压印装置,其中,用户界面包括显示控制器,该显示控制器被配置成显示在执行了不满足预设约束的编辑时发生的错误。
10.根据权利要求1所述的压印装置,还包括控制器,该控制器被配置成根据使用用户界面执行的编辑的结果来控制在基板的所述多个压射区域中的每个压射区域上形成由压印材料构成的图案的处理。
11.根据权利要求10所述的压印装置,其中,控制器从压射区域所属的组中去除压印材料的总供给量被设置为0的压射区域。
12.根据权利要求10所述的压印装置,其中,通过外部装置向压印材料的总供给量被设置为0的压射区域供给压印材料,并且
控制器控制所述处理以使得对于压印材料的总供给量被设置为0的压射区域,在没有通过分配器将压印材料供给到压射区域上的情况下,在压射区域上形成由压印材料构成的图案。
13.根据权利要求10所述的压印装置,其中,控制器控制所述处理以使得对于压印材料的总供给量被设置为0的压射区域,仅在允许在压射区域上形成图案的情况下,在没有通过分配器将压印材料供给到压射区域上的情况下,在压射区域上形成由压印材料构成的图案,并且
压印材料的总供给量被设置为0的压射区域指示出压印材料由外部装置供给。
14.根据权利要求1所述的压印装置,其中,用户界面在显示器上显示指示出每个压射区域中的处理的进度的图像。
15.根据权利要求14所述的压印装置,其中,所述图像包括:指示出压印材料被布置在压射区域上的图像、指示出压印材料与模具接触的图像以及指示出压印材料被固化的图像。
16.一种物品的制造方法,包括:
使用根据权利要求1至15中的任一项所述的压印装置在基板上形成图案;以及
加工在所述形成中形成了图案的基板。
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