[发明专利]一种N型太阳能电池硼扩散方法在审
| 申请号： | 202010079282.4 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111341649A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;祁文杰;张耀;刘群;张武;林依婷 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/22 | 分类号： | H01L21/22;H01L21/225;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 方法 | ||
1.一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，包括以下步骤：
(1)将制绒的硅片装入石英舟中，扩散炉石英炉管采用低压扩散方式，将石英舟推入内部温度为800～850℃的扩散炉石英管中；
(2)同时通入50～300sccm的BCl3气体和100～1000sccm的O2气体，进行第一次沉积；
(3)升温至850～900℃，继续通入50～300sccm的BCl3气体和100～1000sccm的O2气体，进行第二次沉积；
(4)升温至950～1050℃，通过真空泵进行抽真空，使扩散炉石英炉管氛围为100mbar以下低压状态；
(5)温度稳定后，通入1～10L氮气，回压；
(6)通入1～20L氧气；
(7)降温出舟：温度降至700～800℃时，将石英舟从扩散炉石英炉管中取出；
(8)卸片：将硅片从石英舟上取下。
2.根据权利要求1所述的一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，步骤(1)中，低压扩散方式中的压力为200～300mbar。
3.根据权利要求1所述的一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，步骤(2)具体为：并通入BCl3气体、O2，保持5min，进行一次沉积。
4.根据权利要求1所述的一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，步骤(3)具体为：升温至870℃，继续通入BCl3、O2，POCl3保持5min，进行二次沉积。
5.根据权利要求1所述的一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，步骤(5)具体为：温度稳定后，通入1～10L氮气，回压至常压，并保持5min。
6.根据权利要求1所述的一种N型太阳能电池硼扩散方法，其特征是，步骤(6)具体为：通入1～20L氧气，保持20min。
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