[发明专利]具有两个校准部的汽车废气传感器

说明书

一种制造传感器的方法，包括在衬底上沉积金属层以及在金属层上制造校准结构。校准结构可以包括第一校准部和第二校准部。该方法可以进一步包括通过修改第一校准部来执行对传感器的第一校准。此外，该方法可以包括在第一校准之后将覆盖层放置在第一校准部的一部分上，然后通过修改第二校准部来执行对传感器的第二校准。

相关申请

本申请要求于2019年1月30日提交的标题为“用于汽车废气传感器的精度(ACCURACY FOR AUTOMOTIVE EXHAUST GAS SENSORS)”的美国临时申请号为62/798,522的优先权，其全部内容通过引用结合于此。

技术领域

本公开涉及具有改进的精度的感测装置和制造这种感测装置的方法。更具体地，本公开涉及高温废气传感器的精度的改进。

背景技术

内燃发动机(例如但不限于柴油发动机和汽油发动机)可包括至少部分地设置在废气系统内的一个或多个温度传感器。这些温度传感器感测废气的温度，并且可以由发动机控制系统用于调节发动机的一个或多个特性，诸如空气/燃料比、增压压力、定时等。这些温度传感器通常在高于600℃的温度下在热力学和化学侵蚀性环境条件下操作。

对于高温传感器的生产，通常在其生产期间将铂电阻层施加在金属氧化物陶瓷衬底上。传感器的校准是通过调整铂曲折电阻(Platinum meander resistance)来实现的，并且在生产过程期间但在钝化完成和保护封套放置之前执行。在完成传感器的生产之后，一个或多个铂钝化层和保护封套可包括一个或多个玻璃和/或陶瓷和/或复合层，从而导致感测元件精度较低。

所需要的是具有改进的精度的温度传感器。

发明内容

根据各种实施例，提供了一种制造传感器的方法。该方法可以包括在衬底上沉积金属层，以及在金属层上制造具有第一校准部和第二校准部的校准结构。该方法可以进一步包括通过修改第一校准部来执行传感器的第一校准。此外，该方法可以包括将覆盖层放置在第一校准部的一部分上，并且在将覆盖层放置在第一校准部上之后通过修改第二校准部来执行传感器的第二校准。

在一些实施例中，修改第一校准部可以通过借由去除材料来修改曲折结构(meander structure)来执行。在一些实施例中，修改第二校准部可以通过去除材料来执行。

在一些实施例中，制造第二校准部可包括在金属层上制造以下中的至少一项：具有矩形形状的结构、具有阶梯形状的结构或具有球形形状的结构。

根据各种实施例，提供一种传感器。传感器可以包括具有校准结构的衬底，校准结构包括第一校准部和第二校准部。传感器还可包括与第一校准部接触的覆盖层；其中第二校准部的至少一部分不与所述覆盖层接触，并且其中在覆盖层被放置成与所述第一校准部接触之后第二校准部已经被修改。

在一些实施例中，第一校准部可以包括曲折结构。在一些实施例中，第二校准部可包括具有矩形形状的结构、具有阶梯形状的结构或具有球形形状的结构。在一些实施例中，第一校准部和第二校准部中的至少一个已经通过去除材料被修改。在其他实施例中，第一校准部可以与第二校准部串联电连接。

根据各种实施例，提供一种传感器。所述传感器可以包括衬底、设置在所述衬底上的曲折结构、以及设置在所述衬底上并且耦合到曲折部的校准部。传感器还可以包括与曲折部接触并且不与校准部接触的第一覆盖层，其中可以在将所述第一覆盖层放置成与所述曲折部接触之后修改校准部。