[发明专利]具有两个校准部的汽车废气传感器

权利要求书

1.一种制造传感器的方法，包括：

在衬底上沉积金属层；

在所述金属层上制造具有第一校准部和第二校准部的校准结构；

通过修改所述第一校准部来执行对所述传感器的第一校准；

将覆盖层放置在所述第一校准部的一部分上；以及

在将所述覆盖层放置在所述第一校准部的所述部分上之后，通过修改所述第二校准部来执行对所述传感器的第二校准。

2.根据权利要求1所述的方法，其中修改所述第一校准部包括通过去除材料来修改曲折结构。

3.根据权利要求1所述的方法，其中修改所述第二校准部包括去除材料。

4.根据权利要求1所述的方法，其中制造所述第二校准部包括：

在所述金属层上制造以下中的至少一个：具有矩形形状的结构、具有阶梯形状的结构、或具有球形形状的结构。

5.一种传感器，包括：

具有校准结构的衬底，所述校准结构包括第一校准部和第二校准部；以及

与所述第一校准部接触的覆盖层，

其中所述第二校准部的至少一部分不与所述覆盖层接触，以及

其中在将所述覆盖层放置成与所述第一校准部接触之后，修改所述第二校准部。

6.根据权利要求5所述的传感器，其中所述第一校准部包括曲折结构。

7.根据权利要求5所述的传感器，其中所述第二校准部包括具有矩形形状的结构、具有阶梯形状的结构或具有球形形状的结构。

8.根据权利要求5所述的传感器，其中所述第一校准部和所述第二校准部中的至少一个已经通过去除材料而被修改。

9.根据权利要求5所述的传感器，其中所述第一校准部与所述第二校准部串联电连接。

10.一种传感器，包括：

衬底；

被设置在所述衬底上的曲折部；

校准部，其被设置在所述衬底上并且被耦合到所述曲折部；以及

第一覆盖层，所述第一覆盖层与所述曲折部接触并且不与所述校准部接触，

其中在将所述第一覆盖层放置成与所述曲折部接触之后，修改所述校准部。

11.根据权利要求10所述的传感器，其中所述校准部已经在所述第一覆盖层的放置之后通过去除材料而被修改。

12.根据权利要求10所述的传感器，其中所述校准部包括以下中的至少一个：具有矩形形状的结构、具有阶梯形状的结构或具有球形形状的结构。

13.根据权利要求10所述的传感器，其中所述曲折部和所述校准部中的至少一个已经通过去除材料而被修改。

14.根据权利要求10所述的传感器，还包括：

第一接触焊盘和第二接触焊盘，其彼此相邻地设置在所述衬底上并且与所述曲折部和所述校准部串联电连接，

其中所述校准部被设置在所述第一接触焊盘和所述第二接触焊盘之间的衬底上。

15.根据权利要求14所述的传感器，其中所述校准部和所述曲折部中的每个包括用于选择性还原的相应电阻量，

其中所述相应电阻量是相应尺寸、形状、宽度和厚度的函数。