[发明专利]精密机床

说明书

本发明提供一种精密机床。精密机床(10)具备：固定于作为支承工具(TL)的工具支承部的工具台(16)；作为能够移动工具台(16)的移动机构的工具工作台(12b)；以及一个或多个摄像装置(18)，该摄像装置固定于工具台(16)上，具有拍摄加工对象物(WK)相对于工具(TL)的的加工点(P)的摄像部(30)。

技术领域

本发明涉及一种使用工具按照10nm以下的加工指令对加工对象物进行精密加工的精密机床。

背景技术

在日本特开2010-058263号公报中，公开了用于以面粗糙度为纳米级水平对工件进行机械加工的精密机床。在该精密机床中，为了使热位移引起的误差最小，主要构造部分相对于加工点为对称构造。

然而，在精密机床的精密加工中，需要详细观察加工对象物的加工点相对于工具的状态，一边掌握加工的状态一边进行加工的情况较多。在该情况下，操作者一般把脸靠近加工点并通过目视进行观察。但是，在通过目视进行观察的情况下，由于加工而产生的切屑进入眼睛，头与机械碰撞，或者身体意外地与工具接触等的危险性成为问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供安全性优异的精密机床。

本发明的方式是使用工具按照10nm以下的加工指令对加工对象物进行精密加工的精密机床，具备：支承所述工具的工具支承部、能够移动所述工具支承部的移动机构、以及一个或多个摄像装置，该摄像装置固定于所述工具支承部或所述移动机构，具有拍摄所述加工对象物相对于所述工具的加工点的摄像部。

根据本发明，即使工具支承部对应于移动机构的移动而移动，也能够在不改变摄像装置相对于被该工具支承部支承的工具的相对位置的情况下，通过一个或多个摄像装置捕捉加工点。因此，能够使作业者不接近加工点而观察加工点，安全性优异。

根据参照附图说明的以下的实施方式的说明，容易理解上述目的、特征及优点。

附图说明

图1是表示本实施方式的精密机床的结构的示意图。

图2是表示安装有摄像装置的状态的图。

图3是示出摄像部的结构例的图。

图4是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(1)。

图5是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(2)。

图6是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(3)。

图7是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(4)。

图8是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(5)。

图9是计算图像的每1点的被摄体的长度时的表(6)。

具体实施方式

以下，列举优选的实施方式，参照附图对本发明进行详细说明。

[实施方式]

图1是表示本实施方式的精密机床10的结构的示意图。精密机床10使用工具TL按照10nm以下的加工指令对加工对象物WK进行精密加工。在本实施方式中，该精密机床10是使旋转状态的加工对象物WK与工具TL接触而进行加工的车床。

精密机床10具有基座12、主轴台14、工具台16、摄像装置18及控制装置20。

基座12是主轴台14和工具台16的底座。另外，在图1中将主轴台14的主轴14a延伸的方向(轴向)设为前后方向，将在与基座12的载置面F平行的面内与轴向正交的方向设为左右方向，将与该载置面F及轴向正交的方向设为上下方向。向下方向设为重力作用的方向。