[发明专利]精密机床

权利要求书

1.一种精密机床，使用工具按照10nm以下的加工指令对加工对象物进行精密加工，其特征在于，

该精密机床具备：

支承所述工具的工具支承部；

能够移动所述工具支承部的移动机构；以及

一个或多个摄像装置，其固定于所述工具支承部或所述移动机构，具有拍摄所述加工对象物相对于所述工具的加工点的摄像部。

2.根据权利要求1所述的精密机床，其特征在于，

所述摄像装置中的至少一个摄像装置中，将从所述摄像部的预定部位到所述加工点的距离设为Dmm，将所述摄像部的视野角设为θdeg，将由所述摄像部拍摄到的图像的长边设为1时的短边的比率设为x，将所述长边的点数设为R_sa，此时下式的关系成立：

3.根据权利要求2所述的精密机床，其特征在于，

所述图像的长边与短边之比为16：9。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的精密机床，其特征在于，

所述摄像部具有对所述加工点照射光的照射部。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的精密机床，其特征在于，

所述摄像装置中的至少一个摄像装置形成为具有柔性的棒状。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的精密机床，其特征在于，

所述摄像装置中的至少一个摄像装置具有调整所述摄像部的朝向的调整机构。

7.根据权利要求6所述的精密机床，其特征在于，

该精密机床具备：

驱动所述调整机构的驱动部；以及

控制所述驱动部的驱动控制部，

所述驱动控制部根据所述工具的种类、大小或长度来控制所述驱动部。

8.根据权利要求7所述的精密机床，其特征在于，

在由加工程序的所述加工指令指定的所述加工点发生变化的情况下，所述驱动控制部控制所述驱动部，以使所述摄像部追随所述加工点。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的精密机床，其特征在于，

该精密机床具备：显示部，其显示由至少一个所述摄像装置的所述摄像部拍摄到的所述图像与放大了在所述图像中指定的一部分区域的放大区域图像中的至少一方。