[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、中间体、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法

说明书

本发明提供蒸镀掩模、蒸镀掩模装置及其制造方法、中间体、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法。蒸镀掩模具备掩模主体和接合于掩模主体的支承体。掩模主体具有第1校准标识，支承体具有第2校准标识。第1校准标识和第2校准标识被设置于在俯视时互相重合的位置，并且它们中的任意一方比另一方大。

本申请享有于2019年1月29日提出的日本申请、即日本特愿2019-013549号的优先权。该在先申请的全部公开内容通过被引用而成为本申请的说明书的一部分。

技术领域

本实施方式涉及蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置及其制造方法、中间体、蒸镀方法、以及有机EL显示装置的制造方法。

背景技术

近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，即使对于可移动设备，应对超高清(UHD)的需要也在不断高涨，这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。

在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用包含有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素(参照日本特开2015-178662号公报)。具体来说，首先，将有机EL显示装置用的基板(有机EL基板)放入蒸镀装置中，接下来，在蒸镀装置内使蒸镀掩模紧密贴合于有机EL基板，执行使有机材料蒸镀于有机EL基板上的蒸镀工序。

发明内容

另外，在制造这样的蒸镀掩模时，为了提高强度，提出了使蒸镀掩模的中间体层叠于支承体上来进行加强的方案。这种情况下，要求将中间体高精度地接合于支承体的开口部。

本公开的蒸镀掩模具备：掩模主体；和支承体，其接合于所述掩模主体，所述掩模主体具有第1校准标识，所述支承体具有第2校准标识，所述第1校准标识和所述第2校准标识被设置于在俯视时互相重合的位置，并且它们中的任意一方比另一方大。

根据本公开，能够将蒸镀掩模的中间体高精度地接合于支承体。

附图说明

图1是用于说明具有蒸镀掩模装置的蒸镀装置和使用了该蒸镀装置的蒸镀方法的图。

图2是示出利用图1所示的蒸镀装置制造出的有机EL显示装置的一例的剖视图。

图3是概要性地示出具有第1实施方式的蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的俯视图。

图4是示出第1实施方式的蒸镀掩模装置的剖视图(沿图3中的IV-IV线的剖视图)。

图5是示出第1实施方式的蒸镀掩模装置的掩模主体的局部放大图(图3的V部放大图)。

图6是示出第1实施方式的蒸镀掩模装置的局部剖视图(沿图5中的VI-VI线的剖视图)。

图7是示出第1实施方式的掩模主体的剖视图(沿图5中的VII-VII线的剖视图)。

图8(a)-图8(d)是示出制造图案基板的方法的图，其中，该图案基板用于通过镀覆处理制造掩模主体。

图9(a)-图9(d)是示出通过镀覆处理制造掩模主体的方法的图。

图10(a)-图10(d)是示出蒸镀掩模的制造方法的图。

图11是示出对蒸镀掩模的掩模主体和支承体进行定位时的第1校准标识和第2校准标识的剖视图。

图12(a)-图12(b)是示出对蒸镀掩模的掩模主体和支承体进行定位时的第1校准标识和第2校准标识的俯视图。

图13(a)-图13(c)是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一例的图。