[发明专利]数字隔离器

说明书

实施方式提供能够提高可靠性的数字隔离器，具有第一金属部、第一绝缘部、第二金属部、第三金属部及第一层。所述第一绝缘部设于所述第一金属部之上。所述第二金属部设于所述第一绝缘部之上。所述第三金属部具有第一部分、第二部分、以及第三部分。所述第一部分在与从所述第一金属部朝向所述第二金属部的第一方向垂直的方向上设于所述第一金属部的周围。所述第二部分隔着含有钽的第一导电层设于所述第一部分的一部分之上。所述第三部分设于所述第二部分之上，并在所述垂直的方向上设于所述第二金属部的周围。所述第一层设于所述第二部分的底部的周围，并与所述第一导电层以及所述第一部分的另一部分相接。所述第一层含有钛、或含有硅以及碳。

相关申请

本申请享受以日本专利申请2019－169302号(申请日：2019年9月18日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。

技术领域

本发明的实施方式涉及数字隔离器。

背景技术

数字隔离器在截断了电流的状态下，利用磁场或电场的变化来传递信号。对于该数字隔离器，要求提高可靠性。

发明内容

本发明的实施方式提供一种能够提高可靠性的数字隔离器。

实施方式的数字隔离器具有第一金属部、第一绝缘部、第二金属部、第三金属部、以及第一层。所述第一绝缘部设于所述第一金属部之上。所述第二金属部设于所述第一绝缘部之上。所述第三金属部具有第一部分、第二部分、以及第三部分。所述第一部分在与从所述第一金属部朝向所述第二金属部的第一方向垂直的垂直方向上设于所述第一金属部的周围。所述第二部分隔着含有钽的第一导电层设于所述第一部分的一部分之上。所述第三部分设于所述第二部分之上，在所述垂直方向上设于所述第二金属部的周围。所述第一层设于所述第二部分的底部的周围，与所述第一导电层以及所述第一部分的另一部分相接。所述第一层含有钛、或含有硅以及碳。

附图说明

图1是表示实施方式的数字隔离器的俯视图。

图2是图1的II－II剖面图。

图3(a)～5是表示实施方式的数字隔离器的制造工序的工序剖面图。

图6是表示参考例的数字隔离器的剖面图。

图7是表示实施方式的第一变形例的数字隔离器的一部分的剖面图。

图8(a)～9(b)是表示实施方式的第一变形例的数字隔离器的制造工序的工序剖面图。

图10是表示实施方式的第二变形例的数字隔离器的一部分的剖面图。

图11(a)～12(b)是表示实施方式的第二变形例的数字隔离器的制造工序的工序剖面图。

图13是表示实施方式的第三变形例的数字隔离器的一部分的剖面图。

图14(a)～18(b)是表示实施方式的第三变形例的数字隔离器的制造工序的工序剖面图。

图19是表示实施方式的第四变形例的数字隔离器的一部分的剖面图。

图20、21是表示实施方式的第五变形例的数字隔离器的俯视图。

图22是表示实施方式的第六变形例的数字隔离器的俯视图。

图23是图22的A1－A2剖面图。

图24是图22的B1－B2剖面图。

图25是表示实施方式的第七变形例的数字隔离器的一部分的剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的各实施方式进行说明。