[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体

说明书

本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，惯性传感器具有基板、绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动的可动体、支承所述可动体且固定于所述基板的固定部、以及固定于所述基板且通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移的挡块，所述挡块具有沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为L1的第一挡块以及沿着所述Y轴与所述可动体相对且与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2的第二挡块，所述可动体在进行了所述旋转位移时，与所述第一挡块及所述第二挡块同时接触。

技术领域

本发明涉及惯性传感器、电子设备及移动体。

背景技术

例如，专利文献1所记载的惯性传感器是能够检测Z轴方向的加速度的传感器，且具有基板、相对于基板绕沿着Y轴方向的摆动轴进行跷跷板式摆动的可动体以及设于基板的固定检测电极。另外，可动体具有第一可动部及第二可动部，第一可动部与第二可动部隔着摆动轴而设置，且彼此绕摆动轴的旋转力矩不同。另外，固定检测电极具有与可动部的第一可动部相对地配置于基板的第一固定检测电极以及与可动部的第二可动部相对地配置于基板的第二固定检测电极。

在这种结构的惯性传感器中，若Z轴方向的加速度增加，则可动体绕摆动轴进行跷跷板式摆动，与此相伴地，第一可动部与第一固定检测电极之间的静电电容及第二可动部与第二固定检测电极之间的静电电容彼此逆相变化。因此，能够基于该静电电容的变化来检测Z轴方向的加速度。

专利文献1：日本专利特开2015-017886号公报

专利文献1所记载的惯性传感器具有固定在基板上且用于抑制可动体的旋转位移的多个挡块。但是，专利文献1中的各挡块的具体结构、特别是各挡块与可动体的分离距离不明，根据附图，各挡块与可动体的分离距离看起来像是相等的。由于多个挡块离摆动轴的距离分别不同，因此若将与可动体的分离距离设为彼此相等，则在可动体进行了位移时，只有离摆动轴远的挡块与可动体接触，可动体不会与比其近的挡块接触。因此，一部分挡块无法发挥其功能，难以充分地提高惯性传感器的耐冲击性。

发明内容

本实施方式中描述的惯性传感器在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，具有：基板；可动体，绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动；固定部，支承所述可动体，并固定于所述基板；以及挡块，固定于所述基板，并通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移，所述挡块具有：第一挡块，所述第一挡块与所述可动体沿着所述Y轴相对，并且所述第一挡块与所述摆动轴的分离距离为L1；以及第二挡块，所述第二挡块与所述可动体沿着所述Y轴相对，并且所述第二挡块与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2，所述可动体在进行了所述旋转位移时，与所述第一挡块及所述第二挡块同时接触。

本实施方式中描述的惯性传感器在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，具有：基板；可动体，绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动；固定部，支承所述可动体，并固定于所述基板；以及挡块，固定于所述基板，并通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移，所述挡块具有：第一挡块，所述第一挡块与所述可动体沿着所述Y轴相对，并且所述第一挡块与所述摆动轴的分离距离为L1；以及第二挡块，所述第二挡块与所述可动体沿着所述Y轴相对，并且所述第二挡块与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2，所述可动体在进行了所述旋转位移时，在与所述第一挡块接触之前先与所述第二挡块接触。

本实施方式中描述的电子设备具有：上述惯性传感器；以及基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制的控制电路。

本实施方式中描述的移动体具有：上述惯性传感器；以及基于从所述惯性传感器输出的检测信号进行控制的控制装置。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的惯性传感器的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖视图。

图3是惯性传感器的俯视图。