[发明专利]惯性传感器、电子设备及移动体有效
| 申请号： | 202010072227.2 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111487438B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 永田和幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 电子设备 移动 | ||
1.一种惯性传感器，其特征在于，
在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，
所述惯性传感器具有：
基板；
可动体，绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动，且具有隔着所述摆动轴而配置的第一可动部和第二可动部，并具有从所述第一可动部分别沿所述Y轴方向突出的第一突出部和第二突出部；
固定部，支承所述可动体，并固定于所述基板；以及
挡块，固定于所述基板，并通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移，
所述挡块具有：
第一挡块，所述第一挡块与所述第一突出部在所述Y轴方向上并列配置，并且所述第一挡块与所述摆动轴的分离距离为L1；以及
第二挡块，所述第二挡块与所述第二突出部在所述Y轴方向上并列配置，并且所述第二挡块与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2，
在将所述可动体绕Z轴进行旋转位移的中心设为中心O时，线段β11与线段β12所成的角θ1和线段β21与线段β22所成的角θ2相等，其中，所述线段β11连接所述中心O和所述第一挡块的与所述第一突出部接触的部位，所述线段β12连接所述中心O和所述第一突出部的与所述第一挡块接触的部位，所述线段β21连接所述中心O和所述第二挡块的与所述第二突出部接触的部位，所述线段β22连接所述中心O和所述第二突出部的与所述第二挡块接触的部位，
在所述Y轴方向上，所述第二突出部的前端与所述第一突出部的前端分离。
2.一种惯性传感器，其特征在于，
在将彼此正交的三轴设为X轴、Y轴及Z轴时，
所述惯性传感器具有：
基板；
可动体，绕沿着所述Y轴的摆动轴摆动，且具有隔着所述摆动轴而配置的第一可动部和第二可动部，并具有从所述第一可动部分别沿所述Y轴方向突出的第一突出部和第二突出部；
固定部，支承所述可动体，并固定于所述基板；以及
挡块，固定于所述基板，并通过与所述可动体接触来限制所述可动体绕所述Z轴进行旋转位移，
所述挡块具有：
第一挡块，所述第一挡块与所述第一突出部在所述Y轴方向上并列配置，并且所述第一挡块与所述摆动轴的分离距离为L1；以及
第二挡块，所述第二挡块与所述第二突出部在所述Y轴方向上并列配置，并且所述第二挡块与所述摆动轴的分离距离为比所述L1短的L2，
在将所述可动体绕Z轴进行旋转位移的中心设为中心O时，线段β11与线段β12所成的角θ1大于线段β21与线段β22所成的角θ2，其中，所述线段β11连接所述中心O和所述第一挡块的与所述第一突出部接触的部位，所述线段β12连接所述中心O和所述第一突出部的与所述第一挡块接触的部位，所述线段β21连接所述中心O和所述第二挡块的与所述第二突出部接触的部位，所述线段β22连接所述中心O和所述第二突出部的与所述第二挡块接触的部位，
在所述Y轴方向上，所述第二突出部的前端与所述第一突出部的前端分离。
3.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述惯性传感器具有连接所述固定部与所述可动体的梁，
所述梁在沿所述Z轴的方向上的厚度比沿所述X轴的方向上的宽度大。
4.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述第一挡块和所述第二挡块分别沿着所述Y轴设置有多个。
5.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述挡块具有第三挡块，所述第三挡块与所述可动体沿着所述X轴相对。
6.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述第一挡块和所述第二挡块分别位于所述可动体的外侧。
7.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述第一挡块和所述第二挡块分别位于所述可动体的内侧。
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