[发明专利]高频电源及等离子体处理装置

说明书

一例示性实施方式所涉及的高频电源具备构成为产生高频电力的发电机。高频电力包含多个电力成分。多个电力成分分别具有以指定频率的间隔相对于基本频率对称设定的多个频率。高频电力的包络线具有以指定频率或以该指定频率的2倍以上倍数的频率且按规定的时间间隔周期性出现的峰值。高频电力的功率级设定成在除了峰值的每一个出现时刻紧前的包络线的零交叉区域与该出现时刻紧后的包络线的零交叉区域之间的期间以外的期间为零。

技术领域

本发明的例示性实施方式涉及一种高频电源及等离子体处理装置。

背景技术

在对基板的等离子体处理中使用等离子体处理装置。等离子体处理装置具备腔室及高频电源。将基板收容于腔室内。将气体供应到腔室内，以进行等离子体处理。通过高频电源供应高频电力，以便由气体生成等离子体。如在日本特开2013-135159号公报中所记载的，有时将高频电力作为脉冲状高频电力而进行周期性供应。在该文献中所记载的等离子体处理装置中，将高频电力作为矩形脉冲而进行周期性供应。

发明内容

本发明提供一种使周期性生成的脉冲状高频电力的频带变窄，以抑制对周期性供应的脉冲状高频电力的反射波的技术。

在一例示性实施方式中，提供等离子体处理装置用高频电源。高频电源具备发电机及输出部。发电机构成为产生高频电力。输出部构成为输出通过发电机生成的高频电力。高频电力包含多个电力成分。多个电力成分分别具有以指定频率的间隔相对于基本频率对称设定的多个频率。高频电力的包络线具有以指定频率或以该指定频率的2倍以上倍数的频率且按规定的时间间隔周期性出现的峰值。高频电力的功率级设定成在除了峰值的每一个出现时刻紧前的包络线的零交叉区域与该出现时刻紧后的包络线的零交叉区域之间的期间以外的期间为零。

根据一例示性实施方式，能够使周期性生成的脉冲状高频电力的频带变窄。

附图说明

图1是概略表示一例示性实施方式所涉及的等离子体处理装置的图。

图2是表示一例示性实施方式所涉及的高频电源的结构的图。

图3(a)是表示多个电力成分的合成电力的波形的一例的图，图3(b)是表示图3(a)所示的合成电力的功率谱的图，图3(c)是表示一例的高频电力HF的波形的图。

图4(a)是表示图3(c)所示的一例的高频电力HF的波形和一例的高频偏置电力LF的波形的图，图4(b)是表示一例的高频电力HF的功率谱的图。

图5(a)是表示参考例的高频电力的波形和一例的高频偏置电力LF的波形的图，图5(b)是表示参考例的高频电力的功率谱的图。

图6(a)是表示多个电力成分的合成电力的波形的另一例的图，图6(b)是表示图6(a)所示的合成电力的功率谱的图，图6(c)是表示另一例的高频电力HF的波形的图。

图7(a)是表示多个电力成分的合成电力的波形的又一例的图，图7(b)是表示图7(a)所示的合成电力的功率谱的图，图7(c)是表示又一例的高频电力HF的波形的图。

图8(a)是表示多个电力成分的合成电力的波形的又一例的图，图8(b)是表示图8(a)所示的合成电力的功率谱的图，图8(c)是表示又一例的高频电力HF的波形的图。

图9是表示一例的高频电力HF的波形和另一例的偏置电力的电压波形的图。

图10是表示另一例示性实施方式所涉及的高频电源的结构的图。

具体实施方式

以下，对各种例示性实施方式进行说明。