[发明专利]高频电源及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置用高频电源，其具备：

发电机，其构成为产生高频电力，该高频电力包含分别具有以指定频率的间隔相对于基本频率对称设定的多个频率的多个电力成分，其包络线具有以所述指定频率或以该指定频率的2倍以上倍数的频率且按规定的时间间隔周期性出现的峰值，其功率级设定成在除了所述峰值的每一个出现时刻紧前的所述包络线的零交叉区域与该出现时刻紧后的所述包络线的零交叉区域之间的期间以外的期间为零；及

输出部，其构成为输出通过所述发电机产生的所述高频电力。

2.根据权利要求1所述的高频电源，其中，

所述发电机构成为具有：

波形数据生成部；

量化部，其构成为对通过所述波形数据生成部生成的波形数据进行量化来生成量化数据；

傅里叶逆变换部，其构成为对所述量化数据适用傅里叶逆变换来生成I数据及Q数据；及

调制部，其构成为利用所述I数据及所述Q数据调制相位彼此相差90°的两个基准高频信号来生成调制高频信号，

并且根据所述调制高频信号生成所述高频电力。

3.根据权利要求2所述的高频电源，其中，

所述发电机还具有放大器，该放大器构成为将所述调制高频信号放大来生成所述高频电力。

4.根据权利要求1所述的高频电源，其中，

所述发电机构成为具有：

多个信号发生器，其构成为分别产生多个高频信号，该多个高频信号分别具有所述多个频率；

加法器，其构成为将所述多个高频信号相加而生成其包络线具有以所述时间间隔周期性出现的峰值的合成信号；及

开关电路，其构成为根据所述合成信号生成调制高频信号，该调制高频信号的振幅电平被设定成，在除了所述合成信号的所述包络线的所述峰值的每一个出现时刻紧前的所述合成信号的所述包络线的零交叉区域与该出现时刻紧后的所述合成信号的所述包络线的零交叉区域之间的期间以外的期间为零，

并且根据通过所述开关电路生成的所述调制高频信号生成所述高频电力。

5.根据权利要求4所述的高频电源，其中，

所述发电机还具有放大器，该放大器构成为将通过所述开关电路生成的所述调制高频信号放大来生成所述高频电力。

6.一种等离子体处理装置，其具备：

腔室；

基板支撑器，其构成为具有下部电极且在所述腔室内支撑基板；及

权利要求1至5中任一项所述的高频电源，其构成为产生高频电力，以在所述腔室内由气体生成等离子体。

7.根据权利要求6所述的等离子体处理装置，其还具备：

偏置电源，其构成为与所述下部电极电连接且生成高频偏置电力，以将离子引入所述基板支撑器，

所述高频偏置电力的频率为所述指定频率。

8.根据权利要求7所述的等离子体处理装置，其还具备：

控制部，其构成为设定所述高频电力与所述高频偏置电力之间的相位差。

9.根据权利要求6所述的等离子体处理装置，其还具备：

偏置电源，其构成为与所述下部电极电连接且重复产生脉冲状的直流电压，以将离子引入所述基板支撑器，

所述脉冲状的直流电压的重复频率为所述指定频率。

10.根据权利要求9所述的等离子体处理装置，其还具备：

控制部，其构成为设定所述高频电力与所述脉冲状的直流电压之间的相位差。