[发明专利]照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种照明光学系统，使用从光源射出的非相干光对被照明面进行照明，其特征在于，所述照明光学系统包括：

积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；

光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及

光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，

所述光学元件包括楔形形状部。

2.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述光学元件具有相互非平行的第1面以及第2面。

3.根据权利要求2所述的照明光学系统，其特征在于，

所述第1面的曲率中心处于所述光学系统的光轴或者所述光轴的延长线上，所述第2面的曲率中心处于从所述光轴或者所述延长线偏离的位置。

4.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

还具备驱动机构，该驱动机构使所述光学元件移动到所述光源与所述光学系统之间的光路、或者移动到所述光路外。

5.根据权利要求4所述的照明光学系统，其特征在于，

所述驱动机构使所述光学元件与所述积分器一起移动。

6.根据权利要求5所述的照明光学系统，其特征在于，

所述驱动机构在使所述光学元件以及所述积分器移动到所述光路外的情况下，使其它积分器移动到所述光路。

7.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

在所述积分器与所述光学系统之间配置有多个光学零件，所述多个光学零件包括所述光学元件和第2光学元件，所述第2光学元件包括楔形形状部。

8.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述光学元件配置成能够绕和所述积分器与所述光学系统之间的光轴平行的轴的周围旋转。

9.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

对所述光学元件固定有孔径光阑。

10.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

以使来自所述积分器的光的一部分通过所述光学元件，不使另一部分通过所述光学元件的方式，配置所述光学元件。

11.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述光学元件构成为由所述光学元件的整体形成1个楔形形状。

12.根据权利要求1所述的照明光学系统，其特征在于，

所述光学元件包括配置有多个楔的阵列。

13.根据权利要求12所述的照明光学系统，其特征在于，

所述积分器是复眼光学系统，构成所述复眼光学系统的多个透镜的排列间距与所述多个楔的排列间距之比是1：自然数。

14.一种照明光学系统，使用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，所述照明光学系统包括：

从射出角相互不同的多个积分器选择的积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；

光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及

光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，

所述光学元件包括楔形形状部。

15.根据权利要求14所述的照明光学系统，其特征在于，

还具有驱动机构，该驱动机构将所述多个积分器中的1个积分器驱动而配置到所述光源与所述被照射面之间的光路中。

16.一种曝光装置，其特征在于，具备：

权利要求1至15中的任意一项所述的照明光学系统；以及

投影光学系统，将配置于所述照明光学系统的所述被照明面的原版的图案投影到基板。

17.一种物品制造方法，其特征在于，包括：

曝光工序，使用权利要求16所述的曝光装置对基板进行曝光；以及

显影工序，使在所述曝光工序中曝光的所述基板显影，

根据所述基板制造物品。