[发明专利]一种锆锰酸铋-钪酸铋-钛酸铅系压电陶瓷材料及其制备方法在审
申请号: | 202010064453.6 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN111269009A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 董蜀湘;余洋;杨继昆;罗亮 | 申请(专利权)人: | 北京大学;北京航天芯智汇物联科技有限公司 |
主分类号: | C04B35/472 | 分类号: | C04B35/472;C04B35/622;H01L41/187;H01L41/29;H01L41/39 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 锆锰酸铋 钪酸铋 钛酸铅系 压电 陶瓷材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种压电陶瓷材料,为锆锰酸铋-钪酸铋-钛酸铅系压电陶瓷材料,其化学式为xBi(Mn1/2Zr1/2)O3-(1-x-y)BiScO3-yPbTiO3,其中x=0.02~0.06,y=0.62~0.67。
2.如权利要求1所述的压电陶瓷材料,其特征在于,所述压电陶瓷材料的晶体结构为钙钛矿结构。
3.一种制备权利要求1或2所述压电陶瓷材料的方法,以化学计量比的Sc、Bi、Zr、Pb、Ti和Mn的氧化物和/或碳酸盐为原料,采用固相反应法制备。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述Sc、Bi、Zr、Pb、Ti和Mn的氧化物和/或碳酸盐选自下列化合物:Sc2O3、Bi2O3、ZrO2、PbO、TiO2、MnO2、PbCO3、MnCO3。
5.如权利要求3所述的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)按化学组成为xBi(Mn1/2Zr1/2)O3-(1-x-y)BiScO3-yPbTiO3的化学计量比称取原料,所述原料为Sc、Bi、Zr、Pb、Ti、Mn的氧化物和/或碳酸盐,通过湿法球磨混合均匀;
2)将球磨后的混合料烘干,在700~850℃预烧一段时间,然后进行二次球磨,至粉料粒径为1~2微米;
3)将二次球磨后的粉料烘干,加入粘合剂压制成型,并进行排塑处理后得到陶瓷素坯;
4)将陶瓷素坯在1020~1060℃烧结,得到陶瓷片;
5)将烧结完成的陶瓷片电极化,得到锆锰酸铋-钪酸铋-钛酸铅系压电陶瓷材料。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤1)中,在原料中加入水和/或乙醇进行湿法球磨,球磨机转速为150~300转/分,球磨时间优选为12~14小时。
7.如权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤2)中,烘干温度为70~80℃,预烧温度为750-800℃,预烧时间为2~4小时;二次球磨时加入水和/或乙醇进行湿法球磨;球磨机转速为150~300转/分,球磨时间为12~24小时。
8.如权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤3)中,所述粘合剂为聚乙烯醇,其用量为混合粉料总质量的5~8%。
9.如权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤4)中,以200~300℃/小时的升温速率升温至1020~1060℃烧结2~4小时。
10.如权利要求5所述的方法,其特征在于,步骤5)中,将烧结完成的陶瓷片两面抛光并做上电极,然后在120-140℃硅油中进行电极化。
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