[发明专利]一种显示面板以及电子装置有效

专利信息
申请号: 202010062240.X 申请日: 2020-01-19
公开(公告)号: CN111244110B 公开(公告)日: 2023-04-18
发明(设计)人: 陈远鹏;徐源竣;刘兆松 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H10K59/121;H10K59/126
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 显示 面板 以及 电子 装置
【说明书】:

发明提供一种显示面板以及电子装置,该显示面板包括:衬底基板;金属氧化物半导体层,设于所述衬底基板上;栅绝缘层,部分设于所述金属氧化物半导体层上;第一金属层,部分设于所述栅绝缘层上,所述第一金属层包括栅极;保护层,设于所述栅极、所述栅绝缘层以及所述金属氧化物半导体层上;所述保护层的材料为金属氧化物;第一绝缘层,设于所述保护层上;第二金属层,设于所述第一绝缘层上,所述第二金属层包括源极和漏极。本发明的显示面板以及电子装置,能够提高薄膜晶体管的稳定性和薄膜晶体管的导电性能。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种显示面板以及电子装置。

【背景技术】

为驱动显示面板(比如有机发光二极管(OLED)器件),需要薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)具备高的迁移率以产生足够高的驱动电流,并且薄膜晶体管的稳定性也直接影响到OLED的显示特性。

为了提高薄膜晶体管的迁移率,目前薄膜晶体管多采用氧化物半导体作为半导体层,然而氧化物半导体材料容易受到水氧的影响,使得TFT器件的稳定性降低,进而降低了薄膜晶体管的导电性能。

因此,有必要提供一种显示面板以及电子装置,以解决现有技术所存在的问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种显示面板以及电子装置,能够提高薄膜晶体管的稳定性和薄膜晶体管的导电性能。

为解决上述技术问题,本发明提供一种显示面板,包括:

衬底基板;

金属氧化物半导体层,设于所述衬底基板上;

栅绝缘层,部分设于所述金属氧化物半导体层上;

第一金属层,部分设于所述栅绝缘层上,所述第一金属层包括栅极;

保护层,设于所述栅极、所述栅绝缘层以及所述金属氧化物半导体层上;所述保护层的材料为金属氧化物;

第一绝缘层,设于所述保护层上;

第二金属层,设于所述第一绝缘层上,所述第二金属层包括源极和漏极。

本发明还提供一种电子装置,其包括上述显示面板。

本发明的显示面板以及电子装置,包括衬底基板;金属氧化物半导体层,设于所述衬底基板上;栅绝缘层,部分设于所述金属氧化物半导体层上;第一金属层,部分设于所述栅绝缘层上,所述第一金属层包括栅极;保护层,设于所述栅极、所述栅绝缘层以及所述金属氧化物半导体层上;所述保护层的材料为金属氧化物;第一绝缘层,设于所述保护层上;第二金属层,设于所述第一绝缘层上,所述第二金属层包括源极和漏极;由于保护层的材料也为金属氧化物,因此可以显著增强对金属氧化物半导体层的保护,降低外界水氧对氧化物材料的影响,提高薄膜晶体管的稳定性和薄膜晶体管的导电性能。

【附图说明】

图1为本发明一实施例的显示面板的结构示意图;

图2为本发明另一实施例的显示面板的结构示意图;

图3为本发明图2中的显示面板制作方法的第一步至第四步的结构示意图;

图4为本发明图2中的显示面板制作方法的第五步至第六步的结构示意图;

图5为本发明图2中的显示面板制作方法的第七步的结构示意图。

【具体实施方式】

以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。

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