[发明专利]新型晶圆半导体生产辅助设备

权利要求书

1.新型晶圆半导体生产辅助设备，包括清洗箱（1），所述清洗箱（1）的内部设置有一个清洗框（15），所述清洗框（15）的表面开设有漏水孔，所述清洗框（15）的内壁上端铰接有一块矩形盖板（12），所述清洗框（15）的上表面固定连接有把手（14），所述清洗框（15）的底板上等距均匀固定连接有矩形挡板（17），所述清洗框（15）的底板上等距均匀开设有矩形通孔（16），所述清洗箱（1）的内壁左右两面中部均内凹有一个矩形凹孔（18），其特征在于：所述清洗箱（1）的内部设置有一个漂洗装置，所述漂洗装置包括电机（22）及漂洗板（2），所述电机（22）的右面与清洗箱（1）的左面上端固定连接在一起，所述清洗箱（1）的左面开设有一个圆形通槽，所述圆形通槽的内部设置有一根转轴（26），所述转轴（26）的左端与电机（22）的输出轴固定连接在一起，所述转轴（26）的右面固定连接有一个凸轮（24），所述凸轮（24）的上端套接有一个弧形杆（23），所述弧形杆（23）的内环上端下表面固定连接有一个圆球（25），所述圆球（25）与凸轮（24）相互接触，所述弧形杆（23）的下表面与漂洗板（2）的上表面固定连接在一起；

所述清洗箱（1）的下表面设置有一个循环装置，所述循环装置包括过滤箱（3）及L型管（32），所述过滤箱（3）的上表面与清洗箱（1）的下表面固定连接在一起，所述过滤箱（3）与清洗箱（1）之间通过一根竖管（33）连通，所述过滤箱（3）的内部底端设置有一个水泵，所述L型管（32）的左端与过滤箱（3）的右面下端固定连接在一起，所述L型管（32）与过滤箱（3）的内部相通，所述L型管（32）的上端出水口伸入清洗箱（1）的内部上端，所述L型管（32）的左端与水泵的输出端固定连接在一起；

所述过滤箱（3）的内部设置有一个自动过滤装置；

所述过滤箱（3）的内部还设置有一个自动收集装置；

所述自动过滤装置包括动力装置及过滤板（4）；

所述动力装置包括横管（34），所述横管（34）的上表面与竖管（33）的下表面固定连接在一起，所述竖管（33）与横管（34）的内部相通，所述横管（34）的下表面左右两端均固定连接有一根水管（37），所述横管（34）的下表面中部固定连接有一根竖杆（35），所述竖杆（35）的下表面固定连接有一个矩形套（36），所述矩形套（36）的内部套接有一块矩形横板（38），所述矩形横板（38）的上表面遮挡住左右两根水管（37）的下端出水口的任意一个出水口；

所述矩形横板（38）的左右两面均固定连接有一根细绳（46），所述矩形横板（38）的左右两端均设置有一个滑轮（47），所述滑轮（47）的前后两端均通过轴承固定连接有一根L型杆（48），所述L型杆（48）的另一端与过滤箱（3）的内壁固定连接在一起，两根所述细绳（46）分别从两个滑轮（47）上绕过并分别与过滤板（4）的左右两端固定连接在一起；

所述漂洗板（2）的上表面等距均匀固定连接有清洗块（27），每块所述清洗块（27）的位置、数量及大小与每个所述矩形通孔（16）的位置、数量及大小相符合，所述漂洗板（2）的左右两面均固定连接有一个卡块（21），两个所述卡块（21）分别对应的插入两个矩形凹孔（18）内，两个所述卡块（21）的下表面均固定连接有一根弹簧，两根所述弹簧的下表面分别与两个所述矩形凹孔（18）内壁的底面固定连接在一起；

所述过滤板（4）的下表面前后两端均固定连接有一块支撑杆（45），两块所述支撑杆（45）相背离的两面均固定连接有一根圆杆（44），两根所述圆杆（44）相背离的两端均通过轴承与过滤箱（3）内壁的前后两面固定连接在一起；

所述自动收集装置包括两个收集箱（31）及一个矩形纵杆（42），所述过滤箱（3）的左右两面下端均开设有一个矩形通孔，两个所述收集箱（31）分别位于两个所述收集箱（31）的内部，两个所述收集箱（31）的侧表面均开设有漏水孔，每个所述漏水孔内均固定连接有过滤网，所述过滤板（4）的上表面前后两侧均开设有一条矩形滑槽（41），所述矩形纵杆（42）的下表面前后两端均固定连接有一个滚轮（43），两个所述滚轮（43）分别对应的插入两条矩形滑槽（41）内，两个所述收集箱（31）分别位于过滤板（4）下方的左右两侧。