[发明专利]基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像装置和方法有效

专利信息
申请号: 202010056477.7 申请日: 2020-01-18
公开(公告)号: CN111208634B 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 刘辰光;刘俭;姜勇;陈刚 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学;南京恒锐精密仪器有限公司;江苏锐精光电研究院有限公司
主分类号: G02B21/00 分类号: G02B21/00;G02B21/06;G02B21/36
代理公司: 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 代理人: 符继超
地址: 150000 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 基于 频谱 合成 分辨 反射 显微 成像 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像方法,其特征在于,该方法基于一种基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像装置,包括:偏振照明模块、光束扫描模块以及检偏探测模块,所述偏振照明模块、光束扫描模块和检偏探测模块沿光线传播方向依次布置;

所述偏振照明模块沿光线传播方向依次设有激光器(1)、第一偏振片(2)以及四分之一玻片(3);

所述光束扫描模块沿光线传播方向依次设有二维扫描振镜(4)、扫描透镜(5)、第一管镜(6)、激光扩束镜(7)、圆锥反射镜(8)以及圆锥透镜(9),所述扫描透镜(5)的工作面置于所述第一管镜(6)的前焦面位置,经所述圆锥反射镜(8)反射的光线与所述圆锥透镜(9)的入射面垂直;

所述检偏探测模块沿光线传播方向依次设有物镜(11)、第二偏振片(12)、第二管镜(13)以及相机(14);

方法包括:

步骤1:使用所述的成像装置进行照明光束扫描,在成像装置中的二维扫描振镜为无偏转状态下,即入射角θi=0°时,获取垂直入射下待测样品透射光场光强分布图像;

步骤2:改变二维扫描振镜的偏转状态,获得某一入射角θi=θp下的透射光场光强分布图像;

步骤3:控制二维扫描振镜,对样品进行360°圆周扫描,获得入射角θp下的不同照明方位角的透射光场光强分布图像集;

步骤4:继续改变二维扫描振镜的偏转状态,逐次增大入射角θi,获得不同入射角θi以及不同照明方位角αj下待测样品的透射光场光强分布图像集;

步骤5:继续改变二维扫描振镜的偏转状态,使得入射角θi大于全内反射临界角,控制二维扫描振镜对样品进行360°圆周扫描,获得倏逝场照明下不同照明方位角的散射光场光强分布图像集;

步骤6:应用傅里叶叠层成像算法进行频谱合成迭代求解,计算出待测样品的高分辨率复振幅最优解,得到高分辨率待测样品图像。

2.根据权利要求1所述的一种基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像方法,其特征在于,所述步骤1具体包括:

步骤101:激光器发出的平行激光光束,经过第一偏振片和四分之一玻片后形成圆偏振光束;

步骤102:设置二维扫描振镜为无偏转状态,圆偏振光束经过二维扫描振镜反射后,通过扫描透镜聚焦至第一管镜的前焦面处,依次通过第一管镜、激光扩束镜生成平行光;

步骤103:通过圆锥透镜后以0°入射角照明样品,携带待测样品信息的透射光通过物镜、第二偏振片和第二管镜后被相机接收,获得垂直入射下待测样品透射光场光强分布图像。

3.根据权利要求1所述的一种基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像方法,其特征在于,所述步骤3具体包括:

步骤301:控制二维扫描振镜,使照明光束在指定半径的圆周上移动;

步骤302:每移动一次,相机拍摄一次图像,每次移动360°/N;

步骤303:扫描一圈后得到透射光场光强分布图像集:

{I(θp,αj),j=1,2,3,…,N}

其中,θp为当前二维扫描振镜的偏转状态下的入射角,αj为360°圆周扫描过程中的不同照明方位角,N为图像总张数。

4.根据权利要求3所述的一种基于频谱合成的超分辨全内反射显微成像方法,其特征在于,所述步骤4具体包括:

步骤401:改变二维扫描振镜的偏转状态,使入射角θi以相同角度间隔增加M次;

步骤402:每改变一次入射角度θi,重复一次步骤3的操作,得到M×N张倾斜入射下待测样品透射光场光强分布图像集:

{I(θi,αj),i=1,2,3,…,M,j=1,2,3,…,N}

其中,θi为二维扫描振镜调整过程中的不同的入射角,αj为360°圆周扫描过程中不同照明方位角。

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