[发明专利]封装天线及其制造方法有效
申请号: | 202010055525.0 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN113140887B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 张雪松;王谦;蔡坚 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01Q1/22 | 分类号: | H01Q1/22;H01Q1/36 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 胡婷婷 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 天线 及其 制造 方法 | ||
1.一种封装天线,其特征在于,所述封装天线包括:
基板单元,该基板单元包括芯片(A)以及依次层叠且连接的第一芯板(1)、中间金属层(3)、第二芯板(2)和外侧金属层(4),所述外侧金属层(4)形成有天线图形,所述中间金属层(3)形成有反射地平面(31),所述第一芯板(1)背离所述第二芯板(2)的第一外表面(11)开设有凹槽(13),所述芯片(A)容纳并固定在该凹槽(13)中且所述芯片(A)的外表面至少与所述第一外表面(11)齐平;以及,
再布线层(5),该再布线层(5)设置在所述第一外表面(11)和所述芯片(A)的所述外表面上,并且包括RDL金属层(502),该RDL金属层(502)形成有系统地平面(51)以及扇出引线(52)和用于植焊球(8)的焊盘(53);
其中,所述RDL金属层(502)通过过孔(63)连接于所述芯片(A),并且,所述RDL金属层(502)通过贯穿所述基板单元的多个通孔(61)连接于所述中间金属层(3)和所述外侧金属层(4)。
2.根据权利要求1所述的封装天线,其特征在于,所述多个通孔(61)构造为共面波导传输线结构;或者,所述多个通孔(61)包括中间通孔和围绕该中间通孔的多个周边通孔,所述中间通孔用作信号传输线,所述周边通孔用作接地传输线。
3.根据权利要求1所述的封装天线,其特征在于,所述第一外表面(11)上层压有第一半固化片层(71),所述再布线层(5)位于所述第一半固化片层(71)上;所述第二芯板(2)背离所述第一芯板(1)的第二外表面(21)上层压有第二半固化片层(72)。
4.根据权利要求1所述的封装天线,其特征在于,所述外侧金属层(4)包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层形成在所述第二芯板(2)背离所述第一芯板(1)的第二外表面(21)上,所述第二金属层形成在所述第二外表面(21)上所层压的第二半固化片层(72)上,所述第二金属层通过所述第二半固化片层(72)中的盲孔(62)与所述通孔(61)相连;
所述天线图形包括形成于所述第一金属层的第一天线图形(41)和形成于所述第二金属层的第二天线图形(42)。
5.根据权利要求1所述的封装天线,其特征在于,所述RDL金属层(502)的层数为一层,或者,
所述RDL金属层(502)的层数为两层或更多层,并且形成有具有多个金属层的传输线结构。
6.一种封装天线的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括:
制作基板单元,包括:
提供第一芯板(1)和第二芯板(2),所述第一芯板(1)具有第一外表面(11)和第一内表面(12),所述第二芯板(2)具有第二外表面(21)和第二内表面(22),所述第一芯板(1)在所述第一内表面(12)和/或所述第二芯板(2)在所述第二内表面(22)形成有中间金属层(3),该中间金属层(3)形成有反射地平面(31)图案,
将所述第一芯板(1)的第一内表面(12)和所述第二芯板(2)的第二内表面(22)贴合并连接在一起,
钻孔,以获得贯穿所述第一芯板(1)和所述第二芯板(2)的多个通孔(61),
在所述第二外表面(21)上制作外侧金属层(4),所述外侧金属层(4)形成有天线图形图案,
提供芯片(A)并在所述第一外表面(11)上开设凹槽(13),将所述芯片(A)固定在所述凹槽(13)中,且使得所述芯片(A)的外表面至少与所述第一外表面(11)齐平;以及,
在所述第一外表面(11)和所述芯片(A)的所述外表面上制作再布线层(5)并制作过孔(63),所述再布线层(5)包括RDL金属层(502),该RDL金属层(502)形成有系统地平面(51)图案以及扇出引线(52)图案和用于植焊球(8)的焊盘(53)图案;
其中,所述RDL金属层(502)通过所述过孔(63)连接于所述芯片(A),并且,所述RDL金属层(502)通过所述多个通孔(61)连接于所述中间金属层(3)和所述外侧金属层(4)。
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