[发明专利]一种非制冷红外图像传感器有效
申请号: | 202010054365.8 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111246131B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 刘大河;施薛优;陈光毅;李克之 | 申请(专利权)人: | 北京安酷智芯科技有限公司 |
主分类号: | H04N5/369 | 分类号: | H04N5/369;H04N5/378;H04N5/33 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 董李欣 |
地址: | 100080 北京市海淀区中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制冷 红外 图像传感器 | ||
本申请披露了一种非制冷红外图像传感器,包括:感光像素阵列,所述感光像素阵列包括N行M列感光像素;遮挡像素阵列,每个遮挡像素对应一个遮挡电阻Rsm,所述遮挡像素阵列的列数为X;针对所述遮挡像素阵列的每一行,对应设置有一个X‑Y选通开关,所述X‑Y选通开关用于从X个Rsm中选通Y个用于产生行级偏压Vfid;其中,M、N、X和Y均为不小于1的整数,且X大于Y。
技术领域
本发明涉及一种传感器。具体的,涉及一种非制冷红外图像传感器。
背景技术
现有的非制冷红外图像传感器如图1所示,其主要工作原理是:由MEMS工艺制作的热敏电阻(像元电阻)将目标景物的红外辐射转换为自身电阻值的变化,并由读出电路将该阻值的变化进行放大读出,最终根据读出的结果处理输出红外图像。阵列型图像传感器的读出方式一般为:列并行处理,通过逐行扫描完成整个阵列的读出。即对于阵列规模为M×N的像素阵列来说,一共有M列列级读出电路进行滚动扫描读出(每一行的M个像元电阻同时由M列读出电路分别读出,完成一行的读出后再进行下一行的读出)。如图1所示为读出电路的主要结构,为了读取热敏电阻阻值的变化,通常的做法是:通过偏压Vfid与MOS晶体管,在像元电阻Rs上产生电流Is,参比电流产生模块产生参比电流Id,Is与Id作差得到差分电流Idiff,再经由后级电路(图1中未画出)对Idiff进行处理得到读出的结果。像元电阻Rs为热敏电阻,其自身通电的焦耳热会影响自身温度从而影响自身的阻值(自加热效应),为了补偿像元电阻的自加热效应,通常会采用与衬底热绝缘但不接受外部红外辐射的遮挡像素Rsm来产生随自加热效应变化的偏压Vfid,通过该Vfid在像元Rs上产生恒定的电流Is,达到补偿自加热效应的效果。参比电流Id是基于与衬底热接触良好同时也不接受外部红外辐射的盲像素电阻Rd产生。在实际情况下,对于一个M×N规模的像素阵列,需要有M列读出电路,即需要有M个参比电流产生模块,其中每一个参比电流产生模块都需要一个(组)盲像素Rd;而遮挡像素Rsm的作用是产生偏压Vfid,偏压Vfid为每行共享,因此一个M×N规模的电路则需要N个(组)Rsm来产生N个Vfid。
在理想情况下,需要M个(组)盲像素Rd及N个(组)遮挡像素Rsm即可产生M×N规模电路所需要的参比电流Id以及偏压Vfid。实际盲像素与遮挡像素由MEMS工艺加工制成,由于工艺特性,盲像素与遮挡像素存在失效的可能性。读出电路在读出时,每一行的偏压Vfid由该行对应的Rsm产生,而每一列的参比电流基于该列的Rd产生,如果Rsm或Rd失效会导致偏压Vfid或参比电流Id错误,则失效的Rsm或Rd所对应的的行或列都无法正常读出成像,反映到最终的图像上就是行级坏条纹或列级坏条纹,如图2所示。
发明内容
针对现有技术中的图像传感器容易出现行/列条纹的问题,本申请提出了一种非制冷红外图像传感器。
本申请的第一方面披露了第一种非制冷红外图像传感器,所述非制冷红外图像传感器包括:感光像素阵列,所述感光像素阵列包括N行M列感光像素;遮挡像素阵列,每个遮挡像素对应一个遮挡电阻Rsm,所述遮挡像素阵列的列数为X;针对所述遮挡像素阵列的每一行,对应设置有一个X-Y选通开关,所述X-Y选通开关用于从X个Rsm中选通Y个用于产生行级偏压Vfid;其中,M、N、X和Y均为不小于1的整数,且X大于Y。
在一些实施例中,Y大于1时,从X个Rsm中选出的Y个Rsm并联。
在一些实施例中,所述遮挡像素的行数为N+T,实际工作的遮挡像素的行数为N,当实际工作的遮挡像素的A行遮挡像素失效时,所述A行遮挡像素被跳过,所述T行中的A行遮挡像素连入电路;其中,A和T为不小于1的整数,且A不大于T。
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