[发明专利]一种双面电池及其制作方法有效
申请号: | 202010052618.8 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111244226B | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 曾鑫林;马玉超;单伟;何胜;徐伟智 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0224;H01L31/05 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 田媛媛 |
地址: | 310051 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 电池 及其 制作方法 | ||
1.一种双面电池制作方法,其特征在于,包括:
获得双面电池前驱体,所述双面电池前驱体包括由下至上依次层叠的第一钝化层、硅基底、扩散层、氧化层、第二钝化层;
在所述双面电池前驱体的下表面制作背电极;
在所述下表面除所述背电极以外的区域喷涂氢氟酸溶液,并在喷涂有所述氢氟酸溶液的区域中制作铝栅线,得到预处理双面电池前驱体;
烘干所述预处理双面电池前驱体,去除所述铝栅线覆盖以外的所述氢氟酸溶液;
在烘干后预处理双面电池前驱体的上表面制作正电极,并进行烧结,得到双面电池。
2.如权利要求1所述的双面电池制作方法,其特征在于,所述氢氟酸溶液中氢氟酸的体积分数为20%至40%,包括端点值。
3.如权利要求1所述的双面电池制作方法,其特征在于,获得双面电池前驱体,所述双面电池前驱体包括由下至上依次层叠的第一钝化层、硅基底、扩散层、氧化层、第二钝化层包括:
获得所述硅基底;
在所述硅基底的上表面形成所述扩散层;
刻蚀具有所述扩散层的硅基底的四周,并抛光具有所述扩散层的硅基底的下表面;
在所述扩散层的上表面形成所述氧化层;
在经过抛光的下表面形成第一钝化层;
在所述氧化层的上表面形成所述第二钝化层。
4.如权利要求3所述的双面电池制作方法,其特征在于,在经过抛光的下表面形成第一钝化层包括:
在经过抛光的下表面形成氧化铝层;
在所述氧化铝层的下表面形成氮化硅层。
5.如权利要求4所述的双面电池制作方法,其特征在于,在经过抛光的下表面形成氧化铝层包括:
采用原子层沉积法或者等离子体增强化学气相沉积法,在经过抛光的下表面形成氧化铝层。
6.如权利要求3所述的双面电池制作方法,其特征在于,在所述扩散层的上表面形成所述氧化层包括:
采用热氧化法,在所述扩散层的上表面形成所述氧化层。
7.如权利要求3所述的双面电池制作方法,其特征在于,在获得所述硅基底之前,还包括:
对所述硅基底进行制绒处理。
8.如权利要求3所述的双面电池制作方法,其特征在于,在所述硅基底的上表面形成所述扩散层之后,还包括:
在所述扩散层与所述正电极对应的区域形成重掺杂区。
9.如权利要求8所述的双面电池制作方法,其特征在于,在所述扩散层与所述正电极对应的区域形成重掺杂区包括:
采用激光掺杂方式,在所述扩散层与所述正电极对应的区域形成重掺杂区。
10.一种双面电池,其特征在于,所述双面电池是由权利要求1至9任一项所述的双面电池制作方法得到。
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