[发明专利]一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法

说明书

本发明公开一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，包括以下步骤：(1)、前处理，对细胞计数板进行前处理；(2)、等离子气体活化处理，在反应腔内，等离子活化气体对清洁后的细胞计数板进行处理；(3)、静态镀膜，将汽化的镀膜材料通入反应腔，所述镀膜材料为疏水材料或亲水材料，持续通入10s后关闭反应腔进出口，开始静态镀膜过程，维持此静态过程1‑3min，之后再次通入汽化的镀膜材料，重复上述操作3‑5次；(4)、净化，反应腔内破真空；(5)、后处理，将反应腔中的镀有纳米膜的细胞计数板取出，进行密封包装处理。本发明具有膜层质量好、能耗小、生产效率高、节省镀膜材料的优点。

技术领域

本发明涉及等离子化学气相沉积镀膜技术领域，尤其涉及一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法。

背景技术

细胞计数板常用于生物医药领域，用于对单位体积内的细胞数量进行测算，往往细胞计数板现计数池内表面进行疏水或亲水处理，将细胞计数板进行疏水处理后，可以提高细胞的筛选特定选择性；当将细胞计数板进行亲水处理后，可提高水溶性液体在计数池的快速铺展，有利于细胞的测量。

为了使得细胞计数板能够实现上述功能，需要在其计数池内镀膜处理，通过等离子化学气相沉积方法来对细胞计数板的表面施加疏水或亲水性纳米膜，传统等离子化学气相沉积方法通过动态镀膜的方式进行。这种镀膜工艺存在以下不足：

(1)动态镀膜过程中，反应腔内镀膜材料不断进出反应腔，保持一个动态平衡状态，需消耗大量的镀膜材料维持该动态过程。

(2)反应腔内，等离子的运动过程是一个无序无方向的镀膜过程，等离子体无法有序的与产品表面碰撞，容易产生过度聚合的情况，生产所得产品的表面不平整，影响产品美观。

(3)动态镀膜过程需要较长的时间，往往需要40-60min，使得产品的生产效率低下。

(4)动态镀膜所需的功率较大，生成一定厚度的纳米膜往往需要较大的功率，设备的能耗较高，增加了生产成本。

所以，人们亟待获得一种膜层质量好、能耗小、生产效率高、节省镀膜材料的生产工艺方法。

发明内容

针对上述缺陷，本发明的目的在于提出一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，具有膜层质量好、能耗小、生产效率高、节省镀膜材料的特点。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，包括以下步骤：

(1)、前处理，对细胞计数板进行前处理；

(2)、等离子气体活化处理，在反应腔内，等离子活化气体对清洁后的细胞计数板进行处理；

(3)、静态镀膜，将汽化的镀膜材料通入反应腔，所述镀膜材料为疏水材料或亲水材料，持续通入10s后关闭反应腔进出口，开始静态镀膜过程，维持此静态过程1-3min，之后再次通入汽化的镀膜材料，重复上述操作3-5次；

(4)、净化，反应腔内破真空；

(5)、后处理，将反应腔中的镀有纳米膜的细胞计数板取出，进行密封包装处理。

进一步，在步骤(3)中，所述反应腔内设置有用于产生定向电压的电极板，汽化的镀膜材料进入反应腔后在电极板的作用下，等离子气体载气朝细胞计数板定向发射，使镀膜材料在细胞计数板表面沉积形成纳米膜。

进一步，在步骤(3)中，当生成纳米膜的厚度在60-200nm之间时，镀膜过程所需功率为150-350W，维持反应10-15min。

进一步，所述步骤(2)中，活化时间为1-5min，射频电源提供的功率为200-800w，反应腔真空度保持在0.06-0.1mbar范围内。