[发明专利]一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法

权利要求书

1.一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、前处理，对细胞计数板进行前处理保证镀膜前的细胞计数板洁净干燥；

(2)、等离子气体活化处理，在反应腔内等离子活化气体对清洁后的细胞计数板进行处理，保证镀膜材料进入反应腔时气体有足够的能量与镀膜材料反应；

(3)、静态镀膜，将汽化的镀膜材料通入反应腔，所述反应腔内设置有用于产生定向电压的电极板，汽化的镀膜材料进入反应腔后在电极板的作用下，等离子气体载气朝细胞计数板定向发射，使镀膜材料在细胞计数板表面沉积形成纳米膜；所述镀膜材料为疏水材料或亲水材料，持续通入10s后关闭反应腔进出口，开始静态镀膜过程，维持此静态过程1-3min，之后再次通入汽化的镀膜材料，重复上述操作3-5次；生成纳米膜的厚度在60-200nm，镀膜过程所需功率为150-350W，维持反应10-15min；

(4)、净化，反应腔内破真空；

(5)、后处理，将反应腔中的镀有纳米膜的细胞计数板取出，进行密封包装处理保证细胞计数板隔绝空气中氧气和水分以避免膜层被污染。

2.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，活化时间为1-5min，射频电源提供的功率为200-800 W，反应腔真空度保持在0.06-0.1mbar的范围内。

3.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述镀膜材料在加热杯中汽化，镀膜材料在加热杯的加入量是6.0-8.0 μL/s，加热杯的加热温度为80-100℃。

4.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述疏水材料为无氟材料；所述镀膜材料的化学通式为R-Si-(ORX)₃；其中，R为多碳长链烷基，碳原子数量3-16；-RX为-Cl、-CH₃、-C₂H₅中的一种或者多种。

5.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中，反应腔内破真空的时间为1-3min。

6.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，依次进行以下子步骤；

(81)、将细胞计数板超声波无水乙醇清洗；

(82)、将细胞计数板超声波丙酮清洗；

(83)、采用去离子水将细胞计数板清洗2-5遍；

(84)、在温度45℃、湿度5％下烘干20-45min。

7.根据权利要求1所述的细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)中，将细胞计数板密封包装放置于恒温恒湿环境20-45min，该环境的温度为45℃、湿度为5％。