[发明专利]拍摄装置位置校正系统及方法

权利要求书

1.一种拍摄装置位置校正系统，其特征在于，包括：拍摄装置、距离感测装置、距离调整装置以及控制装置，所述控制装置分别与所述拍摄装置、所述距离感测装置和所述距离调整装置通信连接，所述拍摄装置与所述距离调整装置固定连接；

所述拍摄装置用于拍摄光罩图像，并将所述光罩图像发送至所述控制装置；

所述距离感测装置用于感测所述拍摄装置的实际位置，并将所述实际位置发送至所述控制装置；

所述控制装置用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，根据所述实际位置与理论位置的偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

2.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述距离感测装置包括光源和光源接收器；

所述光源设置在所述拍摄装置上、且与所述控制装置电连接；

所述光源接收器与所述控制装置电连接，所述光源接收器在所述拍摄装置处于所述理论位置时，与所述光源相距第一预设距离；在所述拍摄装置处于所述实际位置时，所述光源接收器与所述光源相距第二预设距离，所述第一预设距离与所述第二预设距离的差值等于所述偏移量。

3.根据权利要求2所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，还包括信号调理装置，所述光源接收器通过所述信号调理装置与所述控制装置电连接；

所述信号调理装置用于将所述光源接收器发送的第一信号转化为能够进行数据处理的第二信号，并将所述第二信号发送至所述控制装置。

4.根据权利要求3所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述第一信号为波形信号，所述第二信号为数字信号；

所述信号调理装置包括电压比较器和模数转换器，所述电压比较器用于将所述波形信号转化为脉冲信号，所述模数转换器用于将所述脉冲信号转化为所述数字信号。

5.根据权利要求2所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述拍摄装置包括相对设置的左侧壁和右侧壁，所述光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源设置在所述左侧壁上，所述第二光源设置在所述右侧壁上；

所述光源接收器包括与所述第一光源同侧设置的第一光源接收器和与所述第二光源同侧设置的第二光源接收器，在所述拍摄装置处于所述理论位置时，所述第一光源接收器到所述第一光源的距离与所述第二光源接收器到所述第二光源的距离的差值在预设范围内。

6.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述距离调整装置包括电磁阀和与所述电磁阀连接的气缸，所述气缸内设有第一活塞，所述第一活塞与所述拍摄装置固定连接，所述电磁阀能够控制所述第一活塞在所述气缸内做往复运动。

7.根据权利要求6所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述电磁阀包括进气管路、排气管路、第二腔室，所述气缸包括第一腔室、设置在所述第一腔室内的第一活塞，且所述第一活塞将所述第一腔室分割成互不连通的第一区域和第二区域，所述气缸还包括连通所述第一区域的第一管路和连通所述第二区域的第二管路；

所述第二腔室包括邻近所述第一腔室的上侧壁和与所述上侧壁相对设置的下侧壁，所述上侧壁上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一管路连接，所述第二通孔与所述第二管路连接；所述下侧壁上设有第三通孔、第四通孔和第五通孔，所述第三通孔和所述第五通孔均与所述排气管路连接，所述第四通孔与所述进气管路连接。

8.根据权利要求7所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述电磁阀还包括设置在所述第二腔室内的第二活塞，所述第二活塞一端缠绕有线圈，另一端与弹簧连接，所述电磁阀还包括设置在所述线圈外侧的铁芯，且所述第二活塞将所述第二腔室分割成互不连通的第三区域、第四区域、第五区域和第六区域，且所述第四区域与所述第一区域连通以及所述第五区域与所述第二区域连通；所述线圈通电时，所述第二活塞能够在所述铁芯的作用下移动使得所述第四通孔连通所述第四区域，所述第五通孔连通所述第五区域；所述线圈断电时，所述第二活塞能够在所述弹簧的作用下移动使得所述第三通孔连通所述第四区域，所述第四通孔连通所述第五区域。